KANSAI關(guān)西電熱脫臭裝置HJ-15

KANSAI關(guān)西電熱脫臭裝置HJ-15

白金觸媒酸化式脫臭裝置HJ-15，CVD裝置用干式排氣處理裝置JC-100AF，JC-300AF-S，JC-450AF-S

產(chǎn)品介紹

白金觸媒酸化式脫臭裝置

這是將白金觸媒應(yīng)用于電氣式熱風(fēng)發(fā)生器的裝置。

可以低價(jià)進(jìn)行脫臭。

連續(xù)使用最高溫度350℃

加熱器容量8.5千瓦

高效蜂窩狀塊體加熱器配備

風(fēng)量調(diào)節(jié)用逆變器搭載（20～60Hz可變）節(jié)能！

熱風(fēng)循環(huán)用耐熱風(fēng)機(jī)搭載230℃以下

送風(fēng)機(jī)電動(dòng)機(jī)容量130W?250W

全機(jī)種入出力服務(wù)端子付

各種安全回路內(nèi)藏（各種安全裝置采用高可靠性的熱電偶）

遠(yuǎn)距離操作盤?方向變更?異電電壓等にも対応可能

泰國時(shí)間以1分鐘為單位，可設(shè)置1分鐘至99小時(shí)59分鐘

CVD裝置用干式排氣處理裝置

CVD裝置排出的SiO2粉末等的反應(yīng)生成物捕捉的過濾單元和SiH4、TEOS等有毒氣體的觸媒單元，將有毒氣體去除至TLV值以下。

連續(xù)操作規(guī)格（可在CVD裝置不停止的情況下進(jìn)行維護(hù)）

新型穿孔方式的自動(dòng)再生機(jī)構(gòu)過濾單元

一鍵連接的模塊化各單元

標(biāo)準(zhǔn)配備旁路管道、瞬間停電再啟動(dòng)單元、聯(lián)鎖回路

新型旋轉(zhuǎn)閥搭載（各單元切換時(shí)CVD裝置排氣壓力的穩(wěn)定化）

非常低廉的運(yùn)行成本

也能輕松應(yīng)對(duì)大風(fēng)量型處理CVD裝置

干式排氣處理裝置的好處

有毒氣體通過催化劑單元進(jìn)行吸附處理，因此與其它方式（燃燒式、熱分解式）不同，裝置內(nèi)不會(huì)產(chǎn)生NOx、CO2等，可以將排放氣體直接釋放到大氣中。

SiO2等的反應(yīng)生成物在過濾單元中被捕獲，因此在裝置后段不會(huì)發(fā)生管道清理等的二次維護(hù)。

該實(shí)用工具僅需商用電源（無需LPG、用水等），因此可以減少運(yùn)行成本并確保安全性。

與排氣處理裝置相比，通過延長過濾器和催化劑單元的使用壽命，并降低元件本身的價(jià)格，實(shí)現(xiàn)了干式排氣處理裝置的運(yùn)行成本降低。

處理對(duì)象氣體

SiH4、PH3、B2H6、AsH3、HCｌ、NH3、TEOS、O3、TMOP、TEB　等

處理對(duì)象粉末

SiO2粉末等粒徑0.3μm以上的粉末