KLA Candela 8400 / 8420 / 8720表面顆粒（缺陷）檢測(cè)設(shè)備

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型號(hào)
品牌
所在地上海
更新時(shí)間2026-10-04

新耕（上海）貿(mào)易有限公司

廠商性質(zhì)其他
所在地區(qū)
實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
產(chǎn)品數(shù)量25
人氣值344

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新耕（上海）貿(mào)易有限公司是一家為半導(dǎo)體、平面液晶顯示器、觸控面板等光電通訊行業(yè)供應(yīng)設(shè)備與材料的代理商。我們提供給客戶泛的產(chǎn)品選擇，量測(cè)設(shè)備、清洗設(shè)備，分析儀器，我們所提供的設(shè)備、材料以及服務(wù)的范圍和質(zhì)量都是無二的。

新耕（上海）貿(mào)易有限公司一貫秉承，精益求精的宗旨，力求做到。我們始終以開放的溝通，優(yōu)秀的售前和售后支持，和專業(yè)水平高發(fā)展和維持著與客戶長(zhǎng)期穩(wěn)定的良好合作關(guān)系?？蛻舻恼J(rèn)可是對(duì)新耕的獎(jiǎng)賞。

新耕的使命是矢志提供質(zhì)的服務(wù)給所有客戶，持續(xù)成為設(shè)備及服務(wù)的首要供貨商。無論何種設(shè)備、技術(shù)咨詢、行業(yè)咨詢，新耕都有超過20年的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)。如果您對(duì)我們?cè)O(shè)備由興趣，或有任何問題，請(qǐng)聯(lián)絡(luò)我們，我們將有專業(yè)人士為您提供協(xié)助。

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KLA Candela 8400 / 8420 / 8720表面顆粒（缺陷）檢測(cè)設(shè)備

KLA Candela 8400 / 8420 / 8720表面顆粒（缺陷）檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品詳情

應(yīng)用

◆ 硅片Si、化合物(GaAs, InP, SiC, GaN)樣片表面缺陷的檢查分析，包含微粒、劃傷、坑點(diǎn)、污染、痕跡，同時(shí)也可以添加PL功能用以檢測(cè)某些外延EPI缺陷。該設(shè)備可以兼容透明片和不透明片。

主要功能

KLA-Tencor Candela 8400 / 8420 / 8720面缺陷檢測(cè)設(shè)備是針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的表面缺陷的檢查分析儀器。該設(shè)備利用激光掃描樣品的整個(gè)表面，通過4個(gè)頻道（散射光頻道、反射光頻道、相移頻道及Z頻道）的探測(cè)器所收集到的信號(hào)，快速的將缺陷（包括微粒、劃傷、坑點(diǎn)、污染、痕跡等）進(jìn)行分類，統(tǒng)計(jì)每一種缺陷的數(shù)量并且量測(cè)出相應(yīng)的缺陷尺寸，最后給出整個(gè)表面的缺陷分布圖以及檢測(cè)報(bào)告。根據(jù)預(yù)先設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)，可以給出檢測(cè)樣品合格與否的判斷。同時(shí)8720型號(hào)可以針對(duì)化合物GaN外延材料進(jìn)行高精度的外延缺陷(裂痕，凹坑等)檢測(cè)，在化合物外延領(lǐng)域擁有很好的。

主要特點(diǎn)

◆ 標(biāo)準(zhǔn)夾具從2英寸到8英寸的樣品；
◆ 可用于不透明及透明的材料的表面缺陷檢測(cè)；
◆ 可偵測(cè)的缺陷類型：顆粒，劃傷，突起，凹坑，水漬等；

◆ 可偵測(cè)化合物GaN外延材料的專有外延缺陷；
◆ 手動(dòng)8400 和自動(dòng)傳輸模式8420 / 8720；
◆ 高精度的顆粒缺陷靈敏度（80nm直徑）；
◆ 的自動(dòng)缺陷分類、統(tǒng)計(jì)分布和判別軟件。缺陷分布圖以及檢測(cè)報(bào)告內(nèi)的每一個(gè)缺陷都有4個(gè)頻道拍到的照片儲(chǔ)存在設(shè)備內(nèi)部，這些照片可以輔助技術(shù)人員分析缺陷的成因及進(jìn)行相關(guān)驗(yàn)證。
◆ 內(nèi)部的過濾器可以保證內(nèi)部的潔凈環(huán)境為10級(jí)，防止內(nèi)部污染的同時(shí)該儀器還能長(zhǎng)期保持穩(wěn)定準(zhǔn)確。擁有優(yōu)秀的售后服務(wù)保障體系。

應(yīng)用行業(yè)

◆ 化合物半導(dǎo)體：GaAs，InP, SiC，GaN
◆ 硅基器件：功率器件，MEMS，射頻MEMS
◆ 光通訊：石英材料類

關(guān)鍵詞：標(biāo)準(zhǔn) 過濾器

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