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FR-μProbe 顯微薄膜測量儀

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更新時間：2026-07-20 10:49:52瀏覽次數(shù)：207次

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產(chǎn)品簡介

FR-μProbe顯微薄膜測量儀1.原理介紹FR-μProbe顯微薄膜測量儀是一款小型化的一站式解決方案，用于通過光學顯微鏡在各種模式下進行光學測量，例如:吸光度、透射率、反射率和熒光

詳細介紹

FR-μProbe 顯微薄膜測量儀

1. 原理介紹

FR-μProbe 顯微薄膜測量儀是一款小型化的一站式解決方案，用于通過光學顯微鏡在各種模式下進行光學測量，例如:吸光度、透射率、反射率和熒光。

主要包含兩個光學組件：一個在顯微鏡支持的光譜范圍內(nèi)運行的光譜儀和一個安裝在任何三筒光學顯微鏡 C-mount端口上的模塊。

用于測量的光源來自光學顯微鏡本身。測量光斑的大小區(qū)域由所用物鏡的放大倍數(shù)定義。

通常對于 50X 物鏡，測量區(qū)域是一個直徑約 5μm 的圓形。通過使用更高放大倍率或更小孔徑的物鏡，可以進一步縮小測量光斑.

通過所測量反射率光譜與理論光譜處理，計算出所研究的薄膜堆疊區(qū)域的各層薄膜膜厚度和光學常數(shù)(n & k)

Fig. 1: FR-μProbe安裝在使用內(nèi)部光源的光學顯微鏡上

FR-pR膜厚儀特點.jpg

Fig. 2: 使用 FR-Monitor 軟件通過顯微鏡的 20 倍物鏡對厚 SiO₂ 膜進行測量。

任何具有基本計算機技能的人都可以輕松使用該系統(tǒng)，無需任何光學知識，并且需要一臺帶有 USB 端口的 PC。

備注：

1）規(guī)格如有更改，恕不另行通知；

2）與校準的光譜橢偏儀和 XRD 比較的測量值；

3）15 天平均值的標準偏差平均值。樣品：Si 晶片上的 1 微米 SiO2；

4）100 次厚度測量的標準偏差。樣品：Si 晶片上的 1 微米 SiO2；

5）2 (15 天內(nèi)每日平均值的標準偏差)。

樣品：Si 晶片上的 1 微米 SiO2。顯微鏡上沒有紅外濾光片。

** 使用反射物鏡

2. 測試分析軟件

FR-Monitor® 為光譜測量控制軟件，并為廣泛的應用和多功能性提供的功能。它實時獲取吸光度、透射率、反射率或熒光光譜，并憑藉在 Visual C++ 中實現(xiàn)的算法執(zhí)行非?？焖俚挠嬎恪?/span>
在吸光度/透射率配置中，所有典型參數(shù)，例如 A (absorbance ) 、T (transmittance )皆可計算。此外，還計算了其他非常規(guī)參數(shù)，例如在其他測量中非常有用的信號積分。
在反射率測量的情況下，F(xiàn)R-Monitor 軟件包括白光反射光譜 (WLRS) 算法 (ThetaMetrisisTM)，用于精確計算膜厚（<10nm 至 100μm）和獨立的光學常數(shù) (n & k) 并且支持（在透明或部分/全反射基板上）多層堆迭（<10 層）薄膜計算。

關鍵詞：測量儀光學顯微鏡顯微鏡光譜儀橢偏儀

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