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愛德華螺桿泵IXL120E維修

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廣東省東莞市品雅真空設(shè)備有限公司

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詳細(xì)介紹

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iXL 高性能干式真空泵機(jī)組，從低到高抽速應(yīng)有盡，滿足各種真空鍍膜，氣量需求。
iXL 系列干泵滿足平板顯示器 (FPD)、半導(dǎo)體和太陽(yáng)能制造市場(chǎng) 領(lǐng)域涉及的所有排氣要求。
這些性能的泵旨在限度地提高基板吞吐量，同時(shí)盡可能降低功耗、占地面積和重量。此外，大修間隔期內(nèi)無(wú)須維護(hù)。

適用于半導(dǎo)體和太陽(yáng)能應(yīng)用的小型 iXL 干泵
iXL120：緊湊型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圓加工和其他清潔工作應(yīng)用。它可快速抽空負(fù)載鎖定艙室，能耗極低。可用于負(fù)載鎖定和清潔應(yīng)用的最小且最輕的泵之一。其低振動(dòng)和低噪聲級(jí)的優(yōu)點(diǎn)使其適合于安裝在機(jī)臺(tái)上或工廠的夾心層中，從而有助于節(jié)省寶貴的工廠地面空間。環(huán)保模式可在空閑期間降低設(shè)備使用率，從而降低使用成本，有助于保護(hù)環(huán)境。
的艙室抽空時(shí)間可減少總體平均循環(huán)時(shí)間 (TACT)
僅僅 0.55kW 的功耗有助于減少客戶擁有成本
環(huán)保模式可以在空閑期間最多減少 92% 的功耗
35oC 的水供給有助于降低設(shè)備冷卻水要求
極小且極輕，有助于節(jié)省寶貴的工廠空間

品雅真空是愛德華真空泵全國(guó)一級(jí)代理商，專業(yè)銷售和維修愛德華真空泵系列，萊寶真空泵，阿真空泵，安捷倫分子泵，島津分子泵，漢鐘螺桿真空泵，普旭真空泵等等，提供各種進(jìn)口真空泵配件耗材，真空泵油等。

iXH 系列干泵產(chǎn)品是 Edwards 的市場(chǎng) iH 產(chǎn)品的換代升級(jí)，為嚴(yán)苛制程能力樹立了新標(biāo)準(zhǔn)，它在世界上的許多 300mm 半導(dǎo)體和平板工廠內(nèi)通過提高制程可靠性實(shí)現(xiàn)低擁有成本。

可滿足 FPD、太陽(yáng)能、半導(dǎo)體和 LED 制造業(yè)中日益提高的氣體流量要求的大容量干泵和增壓泵系列。除了具有高峰值抽取速度外，這些泵還配備多種特性以確保在嚴(yán)苛制程中具有可靠性。

iXH 泵采用模塊化設(shè)計(jì)，符合當(dāng)今的制程要求，并且對(duì)于前沿工廠中不斷涌現(xiàn)的應(yīng)用挑戰(zhàn) 有著路線明確的應(yīng)對(duì)計(jì)劃。

東莞市品雅真空設(shè)備有限公司專用維修愛德華螺桿泵IXL120E系列產(chǎn)品，提供維修配件及真空泵油。

IXL120E技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品	iXL120
峰值速度	110 m3h-1
	65 cfm
	1833 lmin-1
極限壓力（典型）	0.013 mbar
	0.009 Torr
	1.3 Pa
極限功率	0.55 kW
環(huán)保模式功率	0.045 kW
進(jìn)氣口連接
垂直	ISO63
水平	NW50
出口連接	NW25
冷卻水接頭	可選
水流量	1 lmin-1
重量	59 kg

訂貨號(hào)：

iXL120 E 200-460V 3/8 QC 冷卻水接頭
A
iXL120 E 200-460V 1/4 QC 冷卻水接頭
A
iXL120 E 200-460V HIT 3/8 QC 冷卻水接頭
A
iXL120 E 200-460V MCM 3/8 QC 冷卻水接頭
A
iXL120 E 200-460V 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥
A
iXL120 E 200-460V SPI 1/4 QC 冷卻水接頭流量控制閥
A
iXL120 E 200-460V HIT 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥
A
iXL120 E 200-460V MCM 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥
A

iXL120N E 200-460V 3/8 QC 冷卻水接頭
A
iXL120N E 200-460V 1/4 QC 冷卻水接頭
A
iXL120N E 200-460V SPI TIM 3/8 QC 冷卻水接頭
A
iXL120N E 200-460V TEL 3/8 QC 冷卻水接頭
A
iXL120N E 200-460V 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥
A
iXL120N E 200-460V TEL 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥
A

東莞市品雅真空設(shè)備有限公司專業(yè)銷售愛德華螺桿泵IXL120E系列產(chǎn)品，可以為客戶提供上門安裝服務(wù)，的訂貨周期滿足可以使用需求。

愛德華螺桿泵IXL120E/NE優(yōu)勢(shì)及功能：

的艙室抽空時(shí)間可減少總體平均循環(huán)時(shí)間 (TACT)

僅僅 0.55kW 的功耗有助于減少客戶擁有成本

環(huán)保模式可以在空閑期間最多減少 92% 的功耗

35 oC 的水供給有助于降低設(shè)備冷卻水要求

極小且極輕，有助于節(jié)省寶貴的工廠空間

油潤(rùn)滑的精密軸承可確保順暢、低振動(dòng)的運(yùn)行，無(wú)需例行維護(hù)工作。

的雙入口布置可實(shí)現(xiàn)高效的前級(jí)輸送和位置選件

零氮吹掃選件無(wú)需氮?dú)夤┙o，從而節(jié)省安裝和運(yùn)行成本

XL1000：緊湊型低能量的干泵，適用于輕負(fù)載應(yīng)用。它提供快速艙室抽空和極低的功耗。可用于輕負(fù)載應(yīng)用（如晶圓加工、PVD 和計(jì)量）的最小且最安靜的泵之一。此產(chǎn)品在高度成功的 iXL120 泵的基礎(chǔ)上構(gòu)建，具有高抽取速度和低能耗特性。通過環(huán)保模式可在空閑期間降低設(shè)備使用率，從而降低成本并幫助保護(hù)環(huán)境。

的艙室抽空時(shí)間可減少總體平均循環(huán)時(shí)間 (TACT)
僅僅 0.55kW 的功耗有助于減少客戶擁有成本
環(huán)保模式可以在空閑期間最多減少 92% 的功耗
35oC 的水供給有助于降低設(shè)備冷卻水要求
極小且極輕，有助于節(jié)省寶貴的工廠空間
適用于 Applied Materials 制程平臺(tái)的 IPUPIPUP2：緊湊型低能量的 180m3/h 干泵，用于晶圓加工和其他清潔工作應(yīng)用。它能夠以低能耗快速抽空負(fù)載鎖定艙室。

IPUP2 小巧輕便，適用于負(fù)載鎖定和清潔應(yīng)用。其低振動(dòng)和低噪聲級(jí)的優(yōu)點(diǎn)使其適合于在機(jī)臺(tái)上使用或安裝在工廠的夾心層中，從而有助于節(jié)省寶貴的工廠地面空間，同時(shí)程序地提高泵送性能。環(huán)保模式可在空閑期間降低設(shè)備使用率，從而降低使用成本，有助于保護(hù)環(huán)境。
適合在 Applied Materials 的制程平臺(tái)上使用，可提高處理能力，同時(shí)減少能耗。

3 萬(wàn)億次循環(huán) MTBF
與原始 IPUP™ 相比，速度提高 50%，能耗降低 70%
提供適用于現(xiàn)有 IPUP™ 的插入式替換部件

關(guān)鍵詞：螺桿泵真空泵顯示器標(biāo)準(zhǔn) 控制閥

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