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原子層沉積系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)PICOFLOW 擴(kuò)散增強(qiáng)

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更新時(shí)間：2026-06-29 10:02:28瀏覽次數(shù)：701次

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原子層沉積系統(tǒng)

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北京正通遠(yuǎn)恒科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

PICOFLOW™系統(tǒng)的目的是減緩反應(yīng)氣體從反應(yīng)腔中排出，從而增加其在反應(yīng)腔中的停留時(shí)間。這允許前驅(qū)體有更長(zhǎng)的時(shí)間擴(kuò)散至樣品表面，對(duì)于提高通孔、高度曲折、納米多孔、粉末或具有其它結(jié)構(gòu)的納米尺寸材料表面薄膜覆蓋率起到關(guān)鍵作用。PICOFLOW™擴(kuò)散增強(qiáng)器能夠?qū)崿F(xiàn)*深寬比樣品表面的鍍膜，且不會(huì)出現(xiàn)前驅(qū)體回流至源管線中的現(xiàn)象。

詳細(xì)介紹

原子層沉積系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)
襯底尺寸和類型

zui大300mm晶圓/單片
200mm晶圓25片/批次（標(biāo)準(zhǔn)間距）
150mm晶圓50片/批次（標(biāo)準(zhǔn)間距）
100mm晶圓75片/批次（標(biāo)準(zhǔn)間距）
高深寬比（HAR）樣品
原子層沉積系統(tǒng)工藝溫度

50 –500 °C
基片傳送選件

預(yù)真空室安裝磁力操作機(jī)械手（Load lock ）
半自動(dòng)的機(jī)械裝載
集群系統(tǒng)的批量裝載（Cassette-to-cassette ）
批量裝載，帶翻轉(zhuǎn)傳送系統(tǒng)（flipping mechanism）
真空批量裝載
氮?dú)夤裱b載
前驅(qū)體

液態(tài)、固態(tài)、氣態(tài)、臭氧源、等離子體
源瓶容量傳感器，并提供清洗和裝源服務(wù)
6根獨(dú)立源管線，zui多加載12個(gè)前驅(qū)體源
重量

820 kg
尺寸 (W x H x D)

160 cm x 80 cm x 240 cm
選件

集群工具，PICOFLOW? 擴(kuò)散增強(qiáng)器，集成橢偏儀，QCM，RGA，N2發(fā)生器，尾氣處理
器，定制設(shè)計(jì)，手套箱集成（用于惰性氣體下裝載），與工廠軟件連接服務(wù)。
驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)為 Al2O3 工藝，
其他工藝可具體協(xié)商：其他工藝、應(yīng)用特別驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)如：
--不均勻性
--顆粒物含量
--重金屬污染
--電學(xué)性能

關(guān)鍵詞：原子層沉積系統(tǒng) 標(biāo)準(zhǔn) 機(jī)械手橢偏儀

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