JKZC-XY-36B雙軸長行程壓電滑臺(tái)

JKZC-XY-36B雙軸長行程壓電滑臺(tái)基于粘滑仿生運(yùn)動(dòng)原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動(dòng)技術(shù)，具有數(shù)厘米級(jí)行程和納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度。

1、典型應(yīng)用

掃描電鏡(SEM)樣品操縱

主動(dòng)光學(xué)

超分辨成像樣品移動(dòng)

大范圍電子束直寫(EBL)

微納裝備及制造

集成電路制造與檢測

高真空樣品精度對(duì)準(zhǔn)及調(diào)姿

納米聚焦與掃描

顯微及納米CT

2、技術(shù)特點(diǎn)

超長行程:36mm

高分辨率:傳感器分辨率為12.5nm

超高精度:最小步長50nm

運(yùn)動(dòng)速度:可達(dá)5mm/s

穩(wěn)定性:保持力可達(dá)3N

超高真空兼容性

運(yùn)動(dòng)模式:支持開環(huán)與閉環(huán)

輕量化、結(jié)構(gòu)緊湊，高可靠性

模塊化設(shè)計(jì)，摩擦單元可替換

3、2D尺寸圖

4、規(guī)格參數(shù)

5、適配控制器