高速納米掃描臺(tái)基于音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)和高精度導(dǎo)向模組實(shí)現(xiàn)納米級(jí)超高分辨力的定位/掃描直線運(yùn)動(dòng)，內(nèi)置光柵位移傳感器，具有納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率和運(yùn)動(dòng)精度，同時(shí)兼具高速、高動(dòng)態(tài)位移定位和掃描功能。

1、典型應(yīng)用

光學(xué)系統(tǒng)中透鏡的定位

機(jī)械工具的多坐標(biāo)定位平臺(tái)

醫(yī)學(xué)裝置中精密電子管、真空管控制

柔性機(jī)器人中使未端執(zhí)行器快速精確定位

2、技術(shù)特點(diǎn)

超高定位精度

高動(dòng)態(tài)特性

多運(yùn)動(dòng)模式:定位/掃描

超長行程

3、2D尺寸圖

4、規(guī)格參數(shù)

 5、適配控制器