電容式微位移傳感器(平板型)

電容式微位移傳感器基于電容電極間均勻電場(chǎng)變化時(shí)電容值的變化量來(lái)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)位移的精確測(cè)量?？蓪?shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量，保證了的測(cè)量分辨率、線性度以及高測(cè)量帶寬，滿足各種應(yīng)用場(chǎng)景下納米級(jí)的測(cè)量需求。

1、典型應(yīng)用

納米級(jí)運(yùn)動(dòng)測(cè)量

精密光學(xué)制造

超精密機(jī)床

超精密面型測(cè)量

微細(xì)形變測(cè)量

集成電路制造

2、技術(shù)特點(diǎn)

百微米至數(shù)千微米級(jí)測(cè)量范圍

超高精度(皮米級(jí)極限分辨率)、高線性度、低漂移

高帶寬高動(dòng)態(tài)測(cè)量

可針對(duì)真空及空間等特殊環(huán)境定制

3、2D尺寸圖

4、規(guī)格參數(shù)

5、適配控制器

微型單通道傳感器主機(jī)CDM10OS

三通道傳感器主機(jī)CDM300

六通道傳感器主機(jī)CDM600