顯微輪廓儀結(jié)構(gòu)-檢查光潔度用光學(xué)顯微鏡新改進(jìn)的干涉輪廓儀有哪些特點(diǎn)顯微干涉輪廓儀結(jié)構(gòu)的主要要求，是放被檢零件的工作臺(tái)和干涉頭聯(lián)結(jié)的剛性要好，必須保證干涉條紋對(duì)振動(dòng)的靈敏度為最小。在調(diào)整結(jié)構(gòu)方面，三個(gè)相互垂直方向精密移動(dòng)被檢表面13和繞其兩軸轉(zhuǎn)動(dòng)，要求有很靈巧的機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)。

 

    另外，為了使兩路相干光束的光程相等，沿光軸方向精密移動(dòng)物鏡和棱鏡也值得注意。檢查零件內(nèi)表面光潔度的顯微干涉輪廓儀在顯微干涉輪廓儀里，狹縫成像在被檢表面上,這就使我們不僅可以檢查有不規(guī)則加工痕跡的表面，而且便于圓柱表面的檢查。實(shí)際上如果狹縫像平行于圓柱母線，則儀器視場(chǎng)中看到直條紋，其寬度是不變的，與圓柱直徑無(wú)關(guān)。

 

    特別有價(jià)值的，是顯微干涉輪廓儀還可以用來(lái)檢查光潔度等級(jí)高的內(nèi)圓柱表面，過(guò)去，沒(méi)有檢查內(nèi)回柱表而光潔度的儀器，只能對(duì)主要零件進(jìn)行抽檢，先要把它切開(kāi)，然后在干涉顯微鏡上檢驗(yàn)檢查內(nèi)表面的顯微干涉輪廓儀,用三物鏡系統(tǒng)(即用于干涉指示儀中的系統(tǒng))。

 

    這種系統(tǒng)可以采用任意高倍數(shù)的顯微物鏡，此外可避免一支光束倒轉(zhuǎn)顯微干涉輪廓儀的缺點(diǎn)，是視場(chǎng)照度明顯地比干涉顯微鏡低得多，因?yàn)樗荒苡迷趦蓚€(gè)方向都擴(kuò)展的光源，而采用窄的發(fā)光狹縫。除此以外，又因采用兩面鏡，使儀器的制造和調(diào)整變得復(fù)雜。因此，顯微干涉輪廓儀不能夠取代干涉顯微鏡，檢查有規(guī)則痕跡的表面，采用干涉顯微鏡還比較合適。