日本理音RION KL-04光滲透粒子計(jì)數(shù)器
RION/日本理音液體粒子計(jì)數(shù)器,可檢測(cè)從純水到*各種各樣的液體。液體計(jì)數(shù)器的使用是為了控制化學(xué)品中的粒子,如半導(dǎo)體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料,超純水和清洗用化學(xué)劑比如堿,有機(jī)溶劑和*。另外,也可檢測(cè)化學(xué)機(jī)械拋光中大粒徑的研磨液,測(cè)試方法包括在線和離線測(cè)試。
可檢測(cè)化學(xué)機(jī)械拋光中大粒徑的研磨液,測(cè)試方法包括在線和離線測(cè)試。
光源 鐳射二極管(波長(zhǎng):780nm,額定輸出:3mW)
接觸樣品的部件材料 取樣管:可溶性聚四氟,傳感器部分:人造石英,可溶性聚四氟
取樣泵 乙烯(氟橡膠)硼硅酸監(jiān)玻璃,樣品容器:聚甲醛
流量 25ml/分鐘(10 ml/分鐘為工廠定制)
測(cè)量范圍 可任意選自1-20個(gè)通道
最多粒子數(shù)量 100000顆/ml(誤差值低于10%)
電源 100V-240V AC,50/60Hz 100VA
尺寸.重量 363(H)×360(W)×236 (D) mm,大約:13kg




































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