立體式三維光學(xué)剖面儀為實(shí)驗(yàn)室研究和生產(chǎn)過(guò)程控制提供了*高性能的非接觸表面測(cè)量。結(jié)合十代白光干涉測(cè)量(WLI)的**和設(shè)計(jì)，這一計(jì)量系統(tǒng)提供了*高的垂直分辨率超過(guò)該行業(yè)的*大視野。主要功能包括自動(dòng)化和生產(chǎn)接口，大型電動(dòng)XYZ級(jí)，頭部?jī)A斜/傾斜，以及一個(gè)完整的空氣隔離臺(tái)。設(shè)計(jì)從地面到*苛刻的研發(fā)，質(zhì)量保證，和過(guò)程質(zhì)量控制的需要，CONTEBGT-X提供了*終的量具能力的三維光學(xué)精度和穩(wěn)健性。

生產(chǎn)準(zhǔn)備設(shè)計(jì)與可靠性

CONTEBGT-X結(jié)合了Bruker的磚利**/傾斜頭，磚利的自校準(zhǔn)激光基準(zhǔn)，集成模式識(shí)別，以及許多其他專(zhuān)有的干涉測(cè)量技術(shù)的**，以提供非常**的表面計(jì)量和高通量。該系統(tǒng)的自動(dòng)化配置能夠快速優(yōu)化幾乎任何生產(chǎn)環(huán)境，其特點(diǎn)包括用于增強(qiáng)X、Y、Z晶圓放置精度的空氣臺(tái)穩(wěn)定器套件和用于集成PDU、EMO和真空系統(tǒng)，以及為自動(dòng)加載端效器兼容性而修改的真空卡盤(pán)。

高精度高分辨率成像

CONTEBGT-X機(jī)動(dòng)XY舞臺(tái)提供12英寸編碼運(yùn)動(dòng)在X和Y方向.該平臺(tái)支持自動(dòng)化例程，例如多點(diǎn)數(shù)據(jù)收集，以及用于大面積分析的拼接功能。0.5微米編碼器提供可靠、可重復(fù)的自動(dòng)化和樣品定位。示例定位通過(guò)直觀的操縱桿和軟件界面控件為操作者提供了方便。

直觀曲面測(cè)量與分析軟件

Bruker的Vision64操作和分析軟件提供了業(yè)界*實(shí)用和*精簡(jiǎn)的圖形用戶界面，將智能體系結(jié)構(gòu)與直觀的可視化工作流和用戶定義的廣泛自動(dòng)化功能結(jié)合在一起，用于快速和**的數(shù)據(jù)收集和分析。一個(gè)*的生產(chǎn)接口，允許適應(yīng)幾乎任何生產(chǎn)環(huán)境和自動(dòng)化過(guò)程的CONTEBGT-X。該接口提供了自定義流程工作流、自動(dòng)映射和負(fù)載測(cè)量配方的工具。