澤塔Zeta-300光學(xué)輪廓儀基礎(chǔ)信息

  型號(hào)：Zeta-300

  產(chǎn)品：光學(xué)輪廓儀/表面輪廓測(cè)試系統(tǒng)

  品牌：Zeta澤塔

  簡(jiǎn)介：的3D成像及測(cè)試系統(tǒng)（為用戶量身打造的表面輪廓測(cè)量設(shè)備，是表面量測(cè)領(lǐng)域的）

澤塔Zeta-300光學(xué)輪廓儀簡(jiǎn)述

  最的3D成像及測(cè)試系統(tǒng)（為用戶量身打造的表面輪廓測(cè)量設(shè)備，是表面量測(cè)領(lǐng)域的）Zeta3D光學(xué)輪廓儀可以對(duì)近乎所有材料和結(jié)構(gòu)的樣品進(jìn)行測(cè)試,從低反射率高粗糙度的太陽(yáng)能電池片到高精密拋光的磁盤介質(zhì)，甚至包括高縱橫比結(jié)構(gòu)的微機(jī)械部件和多層結(jié)構(gòu)的微流體其器件。Zeta*的研發(fā)能力還提供特種應(yīng)用的設(shè)備定制服務(wù)，精密的光學(xué)測(cè)試系統(tǒng)和靈活自動(dòng)的測(cè)試軟件包讓用戶的測(cè)試工作變得更加靈活簡(jiǎn)單。

澤塔Zeta-300光學(xué)輪廓儀特點(diǎn)

 多功能光學(xué)測(cè)試模組

  ·Zeta-300測(cè)試系統(tǒng)提供多種光學(xué)測(cè)試技術(shù)，滿足用戶各種領(lǐng)域的測(cè)試需求：

  ·ZdotTMZ點(diǎn)陣3維成像技術(shù)，是Zeta所有系列產(chǎn)品的標(biāo)配技術(shù)

  ·ZIC干涉反襯成像技術(shù)，實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)粗糙度表面的成像及量化分析

  ·ZSI白光差分干涉技術(shù)，搭配任意物鏡實(shí)現(xiàn)Z方向超高分辨率的測(cè)量能力

  ·Zx5白光干涉技術(shù)。保證Z方向高分辨率測(cè)量的同時(shí)，提供大視野范圍內(nèi)的測(cè)量和統(tǒng)計(jì)分析

 測(cè)試速度快

  1分鐘內(nèi)完成所有類型樣品的3D掃描成像及統(tǒng)計(jì)分析，其超高的分辨能力甚至可以對(duì)納米級(jí)的缺陷進(jìn)行成像。

 操作簡(jiǎn)單

  自動(dòng)化測(cè)試程序，一鍵式操作過(guò)程，測(cè)試菜單設(shè)置簡(jiǎn)單，30分鐘培訓(xùn)速成，結(jié)果輸出直觀。

 功能*

  支持Zeta所有的測(cè)試技術(shù)，滿足用戶對(duì)不同樣品的測(cè)試需求，包括Zeta現(xiàn)有的光學(xué)輪廓測(cè)試技術(shù)、粗糙度和臺(tái)階高度測(cè)試技術(shù)等。 

澤塔Zeta-300光學(xué)輪廓儀技術(shù)規(guī)格

 Zeta-300產(chǎn)品尺寸(mm)

  系統(tǒng)(長(zhǎng)X寬X高)：510x725x773

  主機(jī)：381x457x102

  顯示器：596x449x240

  總重量：145lbs/65kg

 Zeta-300操作規(guī)范

  電壓:100-230VAC

  電流:4A

  工作溫度:18-30oC，非冷凝，±1℃每小時(shí)

 Zeta-300性能配置 

  3D成像:~1秒/點(diǎn)(ZiC)~10秒/點(diǎn)(ZSi)~25秒/點(diǎn)(ZDot)

  像素分辨率:0.09μm(0.5x耦合鏡配合100x物鏡)

  最小Z軸步距:2nm(壓電陶瓷載臺(tái))13nm(Z軸精密絲杠傳動(dòng))

  Z軸分辨率：0.5(ZSi)

  13nm(Zdot)

  重復(fù)性3：7nm(1σ)

 Zeta-300系統(tǒng)配置 

  相機(jī)選項(xiàng)：640x480,1024x768,1280x960

  總放大率：35,000x(光學(xué)和數(shù)字放大)

  系統(tǒng)光源：3個(gè)大功率白光LED

  自動(dòng)載臺(tái)：150mmx150mm(XY方向)

  Z軸測(cè)試范圍：40mm