NBD-LJ10專為掃描電鏡制作樣品而設(shè)計(jì),具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便等特點(diǎn)。它不需要很 高的真空度就可以對(duì)掃描電鏡樣品進(jìn)行離子濺射,因此它可以作為掃描電鏡樣品鍍膜的基本設(shè)備。
主要特點(diǎn)
1.采用4C真空泵,各方面降噪,提升實(shí)驗(yàn)感受;
2.標(biāo)配樣品室真空表和濺射電流表,實(shí)時(shí)顯示和監(jiān)控儀器狀態(tài);
3.邊緣橡膠密封圈,長(zhǎng)期使用不會(huì)出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現(xiàn)象。
4.配置濺射電流控制器和微型真空氣閥。結(jié)合自動(dòng)控制電路,輕松控制真空室壓強(qiáng)、電離電流,并可任意選擇所需電離氣體,以獲得很好的鍍膜效果;
5.標(biāo)配Φ58mm x 0.12mm 大尺寸純金靶,濺射范圍更大;
技術(shù)參數(shù)
1、真空腔體:Φ125(113)*126mm ;
2、試樣臺(tái)尺寸:Φ40nn;
3、樣品臺(tái)可調(diào)高度:65mm;
4、金靶尺寸:Φ58*0.12mm;
5、真空檢測(cè):皮氏真空計(jì);
6、真空保護(hù):20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空;
7、工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,配有氬氣專用進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié) ;
8、濺射材質(zhì):鐵、鈷、鉺;
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