1. 清洗鍍膜一氣呵成，杜絕二次污染；

2. 上開啟式結構，方便觀察試樣；

3. 產品采用全自動控制方式，觸摸屏，數(shù)字化顯示；

4. 可通過爐體滑動來達到快速升溫和快速降溫的效果；

5. 穩(wěn)定的射頻電源，均勻的溫度分布，提高成膜質量；

產品型號

NBD-PECVD1200-50IIT

電氣規(guī)格

AC220V 3KW 射頻功率：300或500瓦 13.56Mhz

可達溫度

1200 ℃ （<1小時）

連續(xù)溫度

1100 ℃ （連續(xù)）

可達加熱速率

≤ 20 ℃/分鐘

加熱區(qū)長度

200mm+200mm（兩個加熱溫區(qū)分別加熱，分體式設計使溫度梯度可以達到極限）

爐管尺寸

Φ50*1800mm

射頻線圈

采用多節(jié)點鍍銀的水冷銅線圈，可匹配不同頻率的射頻電源

控制系統(tǒng)

1.可預存15條溫度曲線，避免不同的實驗工藝重復設置帶來的麻煩；

2.實驗過程更加直觀，操作更加便捷；

3.可另選配無線控制模塊，實現(xiàn)遠程操控；

4.具有超溫報警、斷偶提示、漏電保護等。

溫度精度

+/- 1 ℃

加熱元件

Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金

密封系統(tǒng)

真空度：≤10Pa（機械泵），達到啟輝條件。

壓力測量與監(jiān)控

采用數(shù)顯真空計可直觀顯示設備的真空度，實驗數(shù)據(jù)及效果更加準確。

供氣系統(tǒng)

采用質量流量計控制，與設備一體化，方便控制，出廠前已進行漏氣測試工作

凈重

100KG

設備使用注意事項

1. 設備爐膛溫度≥300℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害；

2. 設備使用時，爐管內壓力不得超過0.125MPa（壓力），以防止壓力過大沖開密封法蘭；

3. 高真空下使用時（10的負3次方Pa），設備使用溫度不得超過800℃。

服務支持

1年有限保修，提供終身支持（保修范圍內不包括易耗部件，例如爐管和O形圈等）