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公司介紹主營產(chǎn)品

在專業(yè)、敬業(yè)、拼搏的理念指導下，不斷進取學習，時刻關(guān)注域科學的發(fā)展和創(chuàng)新，北京眾星聯(lián)恒科技有限公司致力于引進的X射線產(chǎn)品、及新孵化*產(chǎn)品給中國的同步輻射，研究所，高校及制造業(yè)的客戶。

我司是德國INCOATEC公司、美國XOS（光學組件）、德國X-SPECTRUM、德國GREATEYES、德國Microworks、捷克ADVACAM、及英國MSI輝光放電質(zhì)譜儀的中國區(qū)總代理，產(chǎn)品線包含X射線源、X射線光學元件、X射線探測器、X射線系統(tǒng)、OPCPA飛秒激光器和輝光光放電質(zhì)譜儀等。我司同時致力于給客戶提供x射線解決方案，并于2016年推出了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的桌面超快X射線診斷裝置，具有超微、超亮、高信噪比和高穩(wěn)定性的特點，在物質(zhì)超快過程研究、精細分辨成像等方面具有重要的應用價值。

我們堅持以客戶需求為導向，以專業(yè)、專注為根本，以高效服務為核心，緊密跟進學科的發(fā)展，努力從客戶處學習并豐富*自己的技術(shù)儲備，解決客戶的實際需求，以前沿技術(shù)驅(qū)動的創(chuàng)新獲取公司發(fā)展的空間，逐步成長為優(yōu)秀的X射線領(lǐng)域及的材料分析系統(tǒng)方案提供商。

我們敬畏知識不斷進步所帶來的變化和革新，堅信：高品質(zhì)的產(chǎn)品及優(yōu)質(zhì)的服務是獲得客戶認可的標準！

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產(chǎn)品簡介在線詢價

三維13.5nmEUV/SXR復制鏡

三維13.5nmEUV/SXR復制鏡產(chǎn)品詳情

? 關(guān)于RITE

Rigaku Corporation于 2008 年在捷克首都布拉格成立了Rigaku Innovative Technologies Europe s.r.o. (以下簡稱“RITE”)，配有多個專業(yè)的X射線實驗室，作為日本理學在歐洲的 X 射線光學鏡片設(shè)計、開發(fā)和制造中心。

隨著EUV/XUV產(chǎn)業(yè)發(fā)展如火如荼，X射線各領(lǐng)域的研究也不斷深入，RITE專為這兩大類應用提供性能*的光學元件。憑借自身在X射線、極紫外光學領(lǐng)域多年的積累，除了承擔母公司理學在EUV/XUV、軟X射線、硬X射線等設(shè)備的研發(fā) (R&D) 任務以外，RITE秉承著開放合作的理念，也直接向的工業(yè)客戶、實驗室科研用戶提供標準或定制型EUV/X-RAY光學鏡片和高分辨間接X射線探測器等。

RITE實驗室	EUV Replicated Optic

捷克RITE基于其的復制技術(shù) (Replication technology)，聚焦“超光滑Super Smooth”掠入射反射光學器件的研發(fā)設(shè)計，定制開發(fā)速度快，質(zhì)量高，工藝水平。擁有技術(shù)的工藝，能夠商業(yè)化生產(chǎn)直徑達300mm、段長達250mm，組合拼接后可達1000mm的光學器件。通過復制技術(shù)制作的光學元件具有低重量、高表面精度(低斜率誤差)和低表面粗糙度等特點。全反射鏡的另一個有趣的特性是使用各種金屬層作為涂層，的材料有Ni、Au、Mo和Ru。

超高表面精度和更低的表面粗糙度

	平均粗糙度 Ra (nm)	均方根 RMS (nm)
10 μm × 10 μm	0.72	0.91
1 μm × 1 μm	0.27	0.34

Ru鍍層的微觀粗糙度:

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面形誤差精度

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使用Taylor – Hobson輪廓儀測量,拋光前測得RMS (Δr) = 1.14 μm，拋光后測得RMS (Δr) = 0.109 μm

更高的反射率

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對于光學復制技術(shù)的擴展，RITE可以設(shè)計和生產(chǎn)多箔光學鏡片(MFO)。

多箔光學鏡(Multi-Foil Optics, MFO)非常適合軟X射線、EUV波段和大視場的應用，由兩組相互垂直的極薄反射鏡組成，光子通過掠入射角進行反射?？筛鶕?jù)客戶要求快速定制開發(fā)多種形狀1D或2D的MFO（如龍蝦眼，Kirkptrick-Baez組等）。

復制鏡典型參數(shù)：

? 光譜范圍: EUV (60 – 200 eV)；軟X射線（200-2000eV）；硬X射線 (2 – 10 KeV)

? 鏡片面形: 橢球鏡（點對點聚焦），拋物面鏡（平行光束），也可根據(jù)需求定制其他面形

? 光學面材料: Au, Ni, Ru等

? R ≥50%

? 典型表層粗糙度: Ra≈1- 2 nm

? 典型尺寸: 直徑D = 5 – 250 mm；長度L=10-140mm

成像幾何

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加工鏡片示例：

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性能展示

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MFO多箔光學鏡 (龍蝦眼，KB鏡組) -EUV/SXR大視場

大視場：max ±60°
襯底：玻璃或硅
開口孔徑：3x3 mm - 300x300 mm
箔層厚度：30μm – 1 mm
表層材料: Au, Ni, Mo, Pt, W, ..

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加工鏡片示例

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性能展示：

MFO橢圓 KB系統(tǒng)

能量范圍: 80 – 120 eV
焦長: 440 mm
倍率: ~ 1:1
視場: 20°
聚焦光斑尺寸: ~ 0.5 – 1.0 mm
外形尺寸: 100 x 100x 100 mm
口徑: 75 x 75 mm
金鍍膜鏡片
鏡片間距： 1 到 5 mm
鏡片間自由空間 (前視): 56%

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焦點細節(jié)

激光驅(qū)動氙氣和氪氣極紫外輻射的聚焦光斑強度分布。

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幾何構(gòu)型

龍蝦眼鏡片

? 能量范圍5 - 10 keV

? 焦長: 1 000 - 1 200 mm

? 倍率: ~ 1:1

? 視場: 2°

?聚焦光斑尺寸: ~ 0.5 mm

?外形尺寸: 30 x 30 x 65 mm

?口徑: 18 x 18 mm

? 鍍金鏡片

? 鏡片間距0.3 mm

?鏡片間自由空間 (前視): 56%

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聚焦細節(jié)(FWHM = 19 arcmin)，光源80µm，

8kev, MEDIPIX2探測器(CTU)。

水窗、極紫外顯微
X射線光電子能譜
X射線顯微成像
極紫外光刻

關(guān)鍵詞：標準輪廓儀

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
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