| 型號(hào) | HRM-λ | HRTM-λ | HRTM/M-λ |
| 功能 | R、T或δ測(cè)量 | R/T/δ同時(shí)測(cè)量 | R/T/δ高分辨成像 |
| 重復(fù)性測(cè)試精度 | ≤1ppm | ||
| 測(cè)試波長(zhǎng) | 635nm, 1064nm, 1315nm或客戶定制 | ||
| 測(cè)試樣品口徑 | Φ5mm~Φ500mm(依客戶需求) | ||
| 測(cè)試角度 | 5°~45°(依客戶需求) | ||
| 測(cè)量動(dòng)態(tài)范圍 | 高反元件R或高透元件T:99.8%~≥99.9999% 高反元件T或高透元件R:0.2ppm~2000ppm 高反元件或高透元件δ:0.2ppm~2000ppm | ||
| 空間分辨率 | 優(yōu)于100μm | ||
高反元件R、T、δ同時(shí)測(cè)量結(jié)果:

高反元件R、T、δ高分辨成像結(jié)果:





































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