軸:20mm/s),近一步降低了總測量時間。
• 為了在一定時段內(nèi)維持儀器的直線度規(guī)
格,三豐公司采用了具有的耐摩擦
性及穩(wěn)定性的高硬度陶瓷導(dǎo)軌。
• 大量的外周設(shè)備選件支持CNC 模式,從
而可以很容易實現(xiàn)CNC 測量。
• 驅(qū)動裝置(X 軸) 和立柱(Z2 軸) 中集成了高
精度線性編碼器(Z2 軸為ABS 型),從而提
高了在垂直方向持續(xù)自動測量小孔和不
易定位工件的重復(fù)精度。
• X 軸精度:±(0.8+0.01L)μm,
Z1 軸精度:±(0.8+|0.5H|/25)μm*,針對高精
度工件的測量所設(shè)計。
* CV-4100S4, H4, W4 型
L 為驅(qū)動長度,H 為測量高度(mm)
• CV-4100 系列的驅(qū)動裝置集成了激光全息
測微計檢測器,在Z 軸(垂直方向) 的窄/
寬測量范圍內(nèi),提供的精度和分辨
率。
























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