三維光學(xué)輪廓儀/白光干涉儀

ContourX-1000

       布魯克Bruker ContourX-1000 落地式三維光學(xué)輪廓儀/白光干涉儀 （WLI） 可以輕松快速地完成高質(zhì)量的三維表面紋理和粗糙度測量。設(shè)備的計(jì)量系統(tǒng)融合了超過三十年的創(chuàng)新研發(fā)和布魯克的專有軟件和技術(shù)，具備更的性能、更高的效率和可重復(fù)性以及更便捷的測量流程。

       全新的一鍵式尋找表面(Advanced Find Surface ™)功能結(jié)合了自動聚焦和自動照明功能，無需每次測量前手動查找樣品表面，大幅提升了用戶體驗(yàn)，縮短了測量時(shí)間。結(jié)合自適應(yīng)測量模式 USI和簡潔的引導(dǎo)式 VisionXpress™操作界面，ContourX-1000 幾乎能夠在任何表面，任何操作人員，甚至多用戶高負(fù)荷的生產(chǎn)設(shè)備下提供高質(zhì)量的精確測量。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

·        可傾斜/俯仰光學(xué)頭、雙光源和的自動化功能，提供快速、靈活的生產(chǎn)車間內(nèi)測量。

·        自校準(zhǔn)激光和集成的防震臺，確保更高的測量準(zhǔn)確性和可靠性。

·        提供的測量和分析軟件帶有簡潔且有引導(dǎo)性的程序和模式，更大程度的方便用戶使用。

創(chuàng)新的硬件設(shè)計(jì)

ContourX-1000 三維輪廓儀集成有 Bruker 的傾斜/俯仰光學(xué)頭，的雙光源、自動化的物鏡轉(zhuǎn)盤和樣品臺，以及可選配的晶圓卡盤。這些創(chuàng)新可為幾乎所有的在研發(fā)和生產(chǎn)中的應(yīng)用提供快速且有效的解決方案，包括有難度的表面和深溝槽結(jié)構(gòu)。

ContourX-1000配備了專屬的內(nèi)部參考激光和防震臺以獲取更好的穩(wěn)定性和與其他工具的匹配能力。即使在嘈雜的環(huán)境中，該系統(tǒng)也能確保設(shè)備能完成精準(zhǔn)的測量工作。

*的自動測量分析功能

ContourX-1000具有易于操作的功能和的自動化生產(chǎn)界面，允許系統(tǒng)在更少的人工干預(yù)下快速收集高質(zhì)量的檢測結(jié)果報(bào)告，有效減少由于操作人員不同或操作設(shè)置不同而導(dǎo)致的數(shù)據(jù)采集和分析的結(jié)果偏差。

自動功能包括：

·         自動測量和分析方案

·         自動對焦和自動照明功能，一鍵式搜索表面

·         自適應(yīng)USI測量模式，自動確定合適的測量參數(shù)

·         提供引導(dǎo)的VisionXpress界面

·         自動模式對齊

·         自動強(qiáng)度調(diào)整，自動保存，自動拼接等

Vision64  - 儀器控制和分析軟件

ContourX-1000 由 Vision64® 軟件提供支持，該軟件是業(yè)界內(nèi)的一款功能*、用戶友好的圖形用戶界面。這款功能齊全的軟件包括：

查找圖面：查找表面功能使任何用戶都能獲得高質(zhì)量的結(jié)果，無論操作員的經(jīng)驗(yàn)水平如何，即使在多用戶環(huán)境中也是如此。它不僅可以實(shí)現(xiàn)自動對焦，還可以調(diào)整關(guān)鍵照明參數(shù)，如 LED 環(huán)形燈的強(qiáng)度。這允許設(shè)備能夠在各種材料表面上進(jìn)行完整的計(jì)量，改善用戶體驗(yàn)，易于操作，并縮短獲得結(jié)果的時(shí)間。

VisionXpress：VisionXpress™ 的界面使用簡單，適用于多用戶環(huán)境的標(biāo)準(zhǔn)測試庫，在功能齊全的Vision64 界面（用于設(shè)置和自動分析）以及用于自動化（更少的人工干預(yù)）的生產(chǎn)界面之間，您可以自由的選擇更適合需求的解決方案。

通用掃描干涉測量：USI模式的自適應(yīng)表面智能可自動調(diào)整算法參數(shù)，在同一視場內(nèi)的不同表面紋理上獲得更優(yōu)的結(jié)果，即使在對比度、強(qiáng)度和高度不同的表面上也是如此。這種自動檢測表面類型并提供精確計(jì)量的能力使其成為簡單且可靠的測量方法之一，適用于幾乎任何表面，從透明到不透明，垂直范圍高達(dá) 120 μm。

應(yīng)用案例

       ContourX-1000 將的硬件和軟件集成結(jié)合在一起，能夠?qū)Ω鞣N應(yīng)用和行業(yè)（包括關(guān)鍵尺寸計(jì)量等）的各種表面進(jìn)行高精度、量具能力的定量 3D 表面表征。

1、改進(jìn)如元件等的制造工藝

通過測量表面粗糙度參數(shù)，準(zhǔn)確評估和衡量一些零部件的復(fù)雜表面紋理，幫助改進(jìn)表面光潔度工藝。

2、新型材料的研究和大規(guī)模制造

為新型材料的研究和大規(guī)模制造提供快速、準(zhǔn)確的平均表面粗糙度評估

3、半導(dǎo)體表面表征

用于半導(dǎo)體材料和器件納米級表面表征的高性能測量解決方案

4、更多應(yīng)用

·    高縱橫比MEMS器件結(jié)構(gòu)

·    工業(yè)高分子薄膜

·    高密度凸起互連

·    拼接測量得到的雙焦隱形眼鏡形貌