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公司介紹主營產品

北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司（以下簡稱“北方華創(chuàng)”）成立于2001年9月，2010年在深圳證券交易所上市，代碼002371，是目前國內集成電路工藝裝備的企業(yè)。北方華創(chuàng)以科技創(chuàng)新為基點，著眼未來，致力于加快推進北方華創(chuàng)向新型制造業(yè)的戰(zhàn)略轉型；致力于成為半導體基礎產品領域值得信賴的者；致力于提升人類智能生活品質；致力于實現中國“智造強國”的夢想藍圖。北方華創(chuàng)主營半導體裝備、真空及鋰電裝備、精密元器件業(yè)務，為半導體、新能源、新材料等領域提供解決方案。公司現有六大研發(fā)生產基地，營銷服務體系覆蓋歐、美、亞等主要國家和地區(qū)。未來的北方華創(chuàng)，將以半導體基礎產品領域企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺，深耕發(fā)展，未來，堅持以客戶為中心，以價值創(chuàng)造者為本，持續(xù)創(chuàng)新，推動產業(yè)進步，創(chuàng)造無限可能。

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eVictorPVDAl金屬鋁薄膜物理氣相沉積系統(tǒng)eVictorPVDAlSystemeVictorPVDAl設備是一款應用于12英寸集成電路領域的PVD設備，系統(tǒng)集成了高溫去氣、等離子體預清洗、高溫Al、TaN、TTN等多種工藝模塊，并實現在系統(tǒng)內部的工藝整合

金屬鋁薄膜物理氣相沉積系統(tǒng) 產品詳情

eVictor PVD Al 金屬鋁薄膜物理氣相沉積系統(tǒng)

eVictor PVD Al System

eVictor PVD Al設備是一款應用于12英寸集成電路領域的PVD設備，系統(tǒng)集成了高溫去氣、等離子體預清洗、高溫Al、TaN、TTN等多種工藝模塊，并實現在系統(tǒng)內部的工藝整合。涉及大平臺傳輸、高溫靜電卡盤、磁控濺射源設計、厚鋁Whisker Defect控制以及軟件控制等多項關鍵技術。

設備特點

的磁控濺射系統(tǒng)，有效提高薄膜均勻性及靶材利用率
專業(yè)的加熱基座和高溫靜電卡盤設計，具備良好的溫度均勻性
全新雙腔傳輸平臺，可配置性強，可支持10個工藝模塊
優(yōu)秀的Whisker Defect解決方案，降低產品缺陷
大產能，低運營成本

產品應用

晶圓尺寸
12英寸
適用材料
鋁、氮化鉭、氮化鈦、鈦
適用工藝
Al Pad、鋁線、熱鋁
適用領域
集成電路、功率半導體、硅基微型顯示

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