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公司介紹主營產品

北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司（以下簡稱“北方華創(chuàng)”）成立于2001年9月，2010年在深圳證券交易所上市，代碼002371，是目前國內集成電路工藝裝備的企業(yè)。北方華創(chuàng)以科技創(chuàng)新為基點，著眼未來，致力于加快推進北方華創(chuàng)向新型制造業(yè)的戰(zhàn)略轉型；致力于成為半導體基礎產品領域值得信賴的者；致力于提升人類智能生活品質；致力于實現(xiàn)中國“智造強國”的夢想藍圖。北方華創(chuàng)主營半導體裝備、真空及鋰電裝備、精密元器件業(yè)務，為半導體、新能源、新材料等領域提供解決方案。公司現(xiàn)有六大研發(fā)生產基地，營銷服務體系覆蓋歐、美、亞等主要國家和地區(qū)。未來的北方華創(chuàng)，將以半導體基礎產品領域企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺，深耕發(fā)展，未來，堅持以客戶為中心，以價值創(chuàng)造者為本，持續(xù)創(chuàng)新，推動產業(yè)進步，創(chuàng)造無限可能。

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PolarisSeries8/12英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)PolarisSeries8/12InchPVDSystemPolaris系列PVD系統(tǒng)主要由大氣平臺，真空傳輸平臺，去氣腔室（Degas），預清潔腔室和工藝腔室組成，設備采用ClusterTool結構，可配置多個工藝腔室、預清洗腔室和去氣腔室，適合封裝領域薄膜制備大規(guī)模生產

8/12英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng) 產品詳情

Polaris Series 8/12英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)

Polaris Series 8/12 Inch PVD System

Polaris系列PVD系統(tǒng)主要由大氣平臺，真空傳輸平臺，去氣腔室（Degas），預清潔腔室和工藝腔室組成，設備采用Cluster Tool結構，可配置多個工藝腔室、預清洗腔室和去氣腔室，適合封裝領域薄膜制備大規(guī)模生產。Polaris系列PVD為全自動大產能設備，具有反應腔自動開閉蓋、晶圓自動傳輸、工藝去氣、晶圓表面預清潔、薄膜沉積自動化等特點。

設備特點

專業(yè)的磁控濺射源和腔室結構的設計有效提高靶材利用率
靈活的腔室配置，8/12英寸兼容
穩(wěn)定的傳輸系統(tǒng)，兼容玻璃片、翹曲片、鍵合片等多種類型基片傳輸
穩(wěn)定并且低的Rc表現(xiàn)，良好的顆粒和應力控制能力
優(yōu)化的工藝流程帶來大產能表現(xiàn)，低運營成本

產品應用

晶圓尺寸
8/12英寸兼容
適用材料
銅、鈦、氮化鈦、鉭、氮化鉭、鎢化鈦、金、鋁等
適用工藝
晶圓級封裝中的UBM金屬濺射、重布線
適用領域
封裝、硅基微型顯示

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