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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“北方華創(chuàng)”）成立于2001年9月，2010年在深圳證券交易所上市，代碼002371，是目前國(guó)內(nèi)集成電路工藝裝備的企業(yè)。北方華創(chuàng)以科技創(chuàng)新為基點(diǎn)，著眼未來，致力于加快推進(jìn)北方華創(chuàng)向新型制造業(yè)的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型；致力于成為半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域值得信賴的者；致力于提升人類智能生活品質(zhì)；致力于實(shí)現(xiàn)中國(guó)“智造強(qiáng)國(guó)”的夢(mèng)想藍(lán)圖。北方華創(chuàng)主營(yíng)半導(dǎo)體裝備、真空及鋰電裝備、精密元器件業(yè)務(wù)，為半導(dǎo)體、新能源、新材料等領(lǐng)域提供解決方案。公司現(xiàn)有六大研發(fā)生產(chǎn)基地，營(yíng)銷服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞等主要國(guó)家和地區(qū)。未來的北方華創(chuàng)，將以半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺(tái)，深耕發(fā)展，未來，堅(jiān)持以客戶為中心，以價(jià)值創(chuàng)造者為本，持續(xù)創(chuàng)新，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)進(jìn)步，創(chuàng)造無限可能。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

PolarisSeries硅通孔物理氣相沉積系統(tǒng)PolarisSeriesTSVPVDSystemPolarisTSVPVD主要由大氣平臺(tái)，真空傳輸平臺(tái)，去氣腔室（Degas），預(yù)清潔腔室和工藝腔室組成，設(shè)備采用ClusterTool結(jié)構(gòu)，可配置多個(gè)工藝腔室、預(yù)清洗腔室和去氣腔室，適合封裝領(lǐng)域TSV粘附層、擴(kuò)散阻擋層以及種子層薄膜制備大規(guī)模生產(chǎn)

硅通孔物理氣相沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

Polaris Series 硅通孔物理氣相沉積系統(tǒng)

Polaris Series TSV PVD System

Polaris TSV PVD主要由大氣平臺(tái)，真空傳輸平臺(tái)，去氣腔室（Degas），預(yù)清潔腔室和工藝腔室組成，設(shè)備采用Cluster Tool結(jié)構(gòu)，可配置多個(gè)工藝腔室、預(yù)清洗腔室和去氣腔室，適合封裝領(lǐng)域TSV粘附層、擴(kuò)散阻擋層以及種子層薄膜制備大規(guī)模生產(chǎn)。Polaris系列PVD為全自動(dòng)大產(chǎn)能設(shè)備，具有反應(yīng)腔自動(dòng)開閉蓋、晶圓自動(dòng)傳輸、工藝去氣、晶圓表面預(yù)清潔、薄膜沉積自動(dòng)化等特點(diǎn)。

設(shè)備特點(diǎn)

專業(yè)的磁控濺射源和腔室結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)有效提高靶材利用率
高離化率的磁控濺射源設(shè)計(jì)帶來良好的臺(tái)階覆蓋率表現(xiàn)
針對(duì)封裝領(lǐng)域優(yōu)化的穩(wěn)定的傳輸系統(tǒng)，兼容多種類型的基片
專業(yè)的偏壓基座設(shè)計(jì)，良好的冷卻性能
優(yōu)化的工藝流程帶來大產(chǎn)能表現(xiàn)，低運(yùn)營(yíng)成本

產(chǎn)品應(yīng)用

晶圓尺寸
8、12英寸
適用材料
銅、鈦、氮化鈦、鉭、氮化鉭
適用工藝
2.5D/3D TSV沉積
適用領(lǐng)域
封裝

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
p101變送器	面議	重慶市	重慶青天特克科技有限公司	2026-09-21	在線詢價(jià)
耐磨PVD隔膜閥	面議	上海市	上海凡宜科技電子有限公司	2026-09-20	在線詢價(jià)
流量云平臺(tái)	面議	威海市	威海坤科流量?jī)x表股份有限公司	2026-09-18	在線詢價(jià)
熱量表	面議	寧波市	寧波東海集團(tuán)有限公司	2026-09-16	在線詢價(jià)
平衡流量計(jì) SCPHL	面議	淮安市	江蘇蘇川儀表有限公司	2026-09-16	在線詢價(jià)
GE-PH/T系列PH、ORP水質(zhì)控制器工業(yè)廢水ph計(jì)	面議	天津市	天津津儀儀表科技有限公司	2026-09-12	在線詢價(jià)

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