- 設備特點
-
- 用于8-12英寸太陽能級單晶硅棒的生長
- 多維度安全設計,設備長期運行更加安全穩(wěn)定可靠
- 全自動控制系統(tǒng),單晶制備自動化、智能化
- 高拉速、低能耗、低成本
- 技術指標
-
- 晶體直徑φ6"-φ12"
- 主室尺寸φ1100×1400mm,φ1200×1500mm,φ1400×1650mm,φ1600×1900mm,φ1700×2100mm
- 副室尺寸φ350×3800mm,φ350×4000mm,φ350×5000mm,φ400×5500mm,φ450×7300mm
- 熱場尺寸26",28",30",32",36",40",42"
- 加熱功率165KW+65KW,165KW+90KW,150+110KW
- 籽晶拉速>1.6mm/min
- 坩堝升速0.02-1mm/min




































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