測(cè)量傳感器技術(shù)參數(shù):
測(cè)量原理 共焦測(cè)量(非接觸式) | |
測(cè)量物鏡 | 10X 20X 50X 100X |
Z軸測(cè)量范圍 | 400um |
工作距離 | 1mm |
Z軸分辨率 | 10nm 3nm 2nm 1nm |
側(cè)向分辨率 | 1.98um 1um 0.396um 0.198um |
| |
FRT三維輪廓測(cè)量?jī)x
設(shè)備包括:
● 共焦測(cè)量傳感器confocal Microscope
● 花崗巖測(cè)量工作臺(tái)100mmX100mm
● 計(jì)算機(jī)控制和電器柜
● MARKIII測(cè)量分析軟件包
● 數(shù)據(jù)輸出裝置
































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