憑借TS2000-DP，MPI提供了一個(gè)多功能且經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的探針臺(tái)，用于在20°C至300°C的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行晶圓上高功率器件測(cè)量，測(cè)量能力高達(dá)3 kV（三軸）/ 10 kV（同軸）和600A（脈沖）。

產(chǎn)品描述

1.專(zhuān)為各種晶圓生產(chǎn)應(yīng)用而設(shè)計(jì)

DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV應(yīng)用

高達(dá)67 GHz的射頻應(yīng)用和4端口設(shè)置

高達(dá)10 kV /600 A 的高功率生產(chǎn)應(yīng)用

從室溫到300℃的IC設(shè)計(jì)驗(yàn)證

2. 生產(chǎn)可靠性

專(zhuān)為24/7 穩(wěn)定可靠的生產(chǎn)測(cè)試而設(shè)計(jì)

集成被動(dòng)隔振臺(tái)

可選的主動(dòng)隔振基座

適用于300℃的環(huán)境溫度

3. 人體工學(xué)設(shè)計(jì)和選擇

易于單晶圓前裝載設(shè)計(jì)

大型探針臺(tái)可支持12x直流或4x DC+4x RF 微定位器、或4.5”標(biāo)準(zhǔn)探針卡夾具

特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)

1. 探針卡和MicroPositioners

TS2000-DP提供高達(dá)12倍的高電壓（高達(dá)3 kV三軸或10 kV同軸）或4倍多指高電流（高達(dá)400 A MicroPositioners）

許多單探針，專(zhuān)用探針卡夾，用于防電弧高功率探針卡，使系統(tǒng)成為高功率器件特性測(cè)量的理想選擇

2. 反弧技術(shù)

該系統(tǒng)配有ArcShield™，以防止卡盤(pán)和探頭臺(tái)板之間發(fā)生任何可能的電弧

防電弧探針卡具有在DUT周?chē)┘痈邏旱哪芰?，并且通過(guò)使用帕邢定律來(lái)防止焊盤(pán)之間的電弧放電

特別設(shè)計(jì)的防電弧LiquidTray™只需將其放置在高功率吸盤(pán)表面即可用于抑制電弧。晶圓可以安全地放置在托盤(pán)內(nèi)，浸入液體中進(jìn)行無(wú)電弧放電高壓測(cè)試

MPI卡盤(pán)在300°C時(shí)可達(dá)10千伏（同軸）

3. 儀器一體化

TS2000-DP可配置多種儀器連接包，包括必要的高壓/高電流探頭和電纜附件，以便與Keysight B15005（3 kV或10 kV）等測(cè)試儀器進(jìn)行連接，包括集成模塊選擇器或吉時(shí)利2600-PCT-XB，包括集成8020高功率接口面板.

4. 軟件套件SENTIO®

MPI自動(dòng)化工程探針系統(tǒng)由獨(dú)特且革命性的多點(diǎn)觸控操作控制 SENTIO軟件套件—簡(jiǎn)單直觀的操作節(jié)省了大量的培訓(xùn)時(shí)間，Scroll、Zoom，Move命令模仿現(xiàn)代智能移動(dòng)設(shè)備，讓每個(gè)人能在幾分鐘內(nèi)成為專(zhuān)家

對(duì)于RF應(yīng)用，無(wú)需切換到另一個(gè)軟件平臺(tái)-MPI RF校準(zhǔn)軟件程序QAlibria與 SENTIO集成-通過(guò)遵循單一操作概念方法易于使用