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上海納騰儀器有限公司是一家專(zhuān)注于為微納米科學(xué)領(lǐng)域提供綜合性解決方案，為

全國(guó)各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供*的微納米科學(xué)儀器。

目前上海納騰已成為國(guó)內(nèi)少數(shù)幾家專(zhuān)業(yè)提供微納米科學(xué)儀器的企業(yè)，在微納加工儀器，微納表征儀器，微納儀器耗材，微納加工測(cè)試等相關(guān)領(lǐng)域，擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)過(guò)硬的團(tuán)隊(duì)。能夠出色地完成售中、售后的服務(wù)。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線(xiàn)詢(xún)價(jià)

高精度電子束曝光系統(tǒng)

高精度電子束曝光系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

ELS-F125是Elionix推出的世界上加速電壓高達(dá)125KV的電子束曝光系統(tǒng)，其可加工線(xiàn)寬下限為5nm的精細(xì)圖形。(以下參數(shù)基于ELS-F125)

ELS-F125具有以下優(yōu)點(diǎn)：

l 超高書(shū)寫(xiě)精度

- 5 nm 線(xiàn)寬精度 @ 125 kV

- 1.7 nm 電子束直徑&鄰近效應(yīng)最小化 @ 125 kV

l 高通量、均勻性好

- 超大視野書(shū)寫(xiě):500um視場(chǎng)下10 nm線(xiàn)寬

- 高束流下電子束直徑依然很小，高通量而不影響分辨率，2 nm 電子束直徑@ 1 nA

l 界面用戶(hù)友好

基于Windows系統(tǒng)的CAD和SEM界面:

-簡(jiǎn)單易用的圖案設(shè)計(jì)功能

-易于控制的電子束條件

二、主要功能

l 主要應(yīng)用

納米器件的微結(jié)構(gòu)

集成光學(xué)器件，如光柵，光子晶體等

NEMS結(jié)構(gòu)，復(fù)雜精細(xì)結(jié)構(gòu)

光刻掩模板，壓印模板

l 技術(shù)能力

三、應(yīng)用

關(guān)鍵詞：CAD

熱門(mén)產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱(chēng)	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱(chēng)	更新時(shí)間
聲波過(guò)球指示器	￥400000	北京市	北京杜克泰克科技有限公司	2026-09-30	在線(xiàn)詢(xún)價(jià)
BRDF/BTDF測(cè)試儀	面議	上海市	上海倍藍(lán)光電科技有限公司	2026-09-30	在線(xiàn)詢(xún)價(jià)
電腦振動(dòng)噪聲測(cè)量?jī)x庫(kù)號(hào)：M195225	￥8980	北京市	北京海富達(dá)科技有限公司	2026-09-30	在線(xiàn)詢(xún)價(jià)
不銹鋼懸浮床	面議	北京市	北京亞歐德鵬科技有限公司	2026-09-30	在線(xiàn)詢(xún)價(jià)
UZY600 系列音叉物位控制器	面議		北京瑞普三元儀表有限公司	2026-09-28	在線(xiàn)詢(xún)價(jià)
雨量氣象監(jiān)測(cè)系統(tǒng)	面議	濰坊市	山東雷穹電子科技有限公司	2026-09-23	在線(xiàn)詢(xún)價(jià)

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