FST-MQP01 系列高精度材料顯微轉(zhuǎn)移設(shè)備系統(tǒng) 

企業(yè)

一、產(chǎn)品主標(biāo)題

二、產(chǎn)品簡介

三、整機(jī)模塊化結(jié)構(gòu)組成

1. 五維高精密手動(dòng)微調(diào)轉(zhuǎn)移單元

   XYZ 三軸直線微調(diào) + XY 俯仰角度 + Z 軸旋轉(zhuǎn)五維手動(dòng)位移結(jié)構(gòu)，微分頭精細(xì)進(jìn)給，微米級(jí)精細(xì)調(diào)節(jié)，無回程間隙，手動(dòng)完成薄膜精準(zhǔn)對(duì)位，適配小批量、多變量科研實(shí)驗(yàn)。

2. PID 恒溫真空吸附載物臺(tái)

   多孔陶瓷真空吸附臺(tái)面，室溫～200℃寬溫區(qū)間連續(xù)精準(zhǔn)控溫，控溫精度 ±0.1℃，支持階梯升溫退火、高溫干法剝離；負(fù)壓可分段調(diào)節(jié)，適配硅片、石英、PDMS、柔性襯底等各類基底。

3. 三目金相顯微成像觀測(cè)單元

   三目鏡筒光路搭配高清工業(yè)相機(jī)與 21.5 寸顯示監(jiān)視器，同軸環(huán)形冷光源，100~900 倍連續(xù)變倍放大，實(shí)時(shí)可視化觀測(cè)單層二維薄膜邊界、剝離貼合全過程，精準(zhǔn)識(shí)別微米級(jí)薄膜形貌。

4. 消音真空吸附氣控單元

   無油低噪隔膜真空泵，0~-90KPa 連續(xù)可調(diào)負(fù)壓，切換干法、濕法兩種轉(zhuǎn)移工藝，輕柔吸附超薄單層材料，避免薄膜撕裂、滑移、褶皺。

5. 阻尼隔振光學(xué)支撐底座

   一體式鑄鐵阻尼隔振平臺(tái)，內(nèi)置高效阻尼夾層，隔絕地面、設(shè)備、人員走動(dòng)帶來的低頻振動(dòng)，保障長時(shí)間手動(dòng)堆疊過程中樣品無漂移，提升對(duì)位穩(wěn)定性。

四、核心技術(shù)參數(shù)總表

五、產(chǎn)品核心優(yōu)勢(shì)

1. 五維手動(dòng)微米級(jí)精密調(diào)節(jié)，操作靈活適配多變實(shí)驗(yàn)

2. 干濕法雙工藝全覆蓋，兼容全品類二維薄膜制備

3. 一體化精密溫控退火模塊，適配多元薄膜工藝

4. 高清可視化顯微觀測(cè)，微米級(jí)薄膜精準(zhǔn)識(shí)別

5. 標(biāo)配阻尼隔振底座，抑制震動(dòng)保障堆疊精度

6. 高性價(jià)比經(jīng)濟(jì)型方案，低維護(hù)適配高校預(yù)算

7. 模塊化拓展設(shè)計(jì)，后期可升級(jí)全自動(dòng)配置

六、典型應(yīng)用領(lǐng)域

1. 二維范德華異質(zhì)結(jié)科研制備

   石墨烯 /hBN 垂直堆疊、多層 TMDs 異質(zhì)結(jié)構(gòu)、磁性二維材料、鈣鈦礦復(fù)合薄膜樣品制備；

2. 低維光電器件研發(fā)

   二維場(chǎng)效應(yīng)晶體管、光電探測(cè)器、柔性憶阻器、微納發(fā)光器件、傳感芯片樣品制備；

3. 薄膜光學(xué)與輸運(yùn)特性表征

   大面積薄膜 PL、拉曼掃描測(cè)試、載流子輸運(yùn)機(jī)理、界面光電效應(yīng)課題研究；

4. 高校教學(xué)與基礎(chǔ)科研

   材料、物理、微電子專業(yè)本科教學(xué)演示、碩士博士課題標(biāo)準(zhǔn)化樣品制備；

5. 企業(yè)小型研發(fā)實(shí)驗(yàn)室

   柔性電子、新型半導(dǎo)體、光傳感材料小批量樣品試制與工藝摸索。

七、標(biāo)準(zhǔn)出廠全套配置清單

1. FST-MQP01 五維手動(dòng)顯微轉(zhuǎn)移主機(jī)（含阻尼隔振光學(xué)底座）

2. 五維精密微分手動(dòng)微調(diào)轉(zhuǎn)移模組

3. 室溫～200℃ PID 真空吸附陶瓷溫控載物臺(tái)

4. 三目金相顯微鏡 + 高清工業(yè)成像相機(jī) + 21.5 寸監(jiān)視器

5. 無油消音真空泵、全套真空管路與負(fù)壓調(diào)節(jié)閥

6. 標(biāo)準(zhǔn) PDMS 襯底、玻璃載片、樣品固定夾具全套耗材

7. 整機(jī)電源線、信號(hào)傳輸線、操作手冊(cè)、配套調(diào)節(jié)工具包

八、可選拓展選配模塊

1. 原位電學(xué)探針測(cè)試模組：堆疊完成后 IV、光電響應(yīng)原位測(cè)試

2. 密閉高真空腔體模組：隔絕水汽氧化，適配黑磷、鈣鈦礦等易氧化材料

3. 大面積 LED 太陽光模擬器、多波長單色 LED 光源

4. 氣浮隔振平臺(tái)升級(jí)套件、手套箱內(nèi)置適配改造組件

5. 電動(dòng)伺服升級(jí)套件，可將手動(dòng)款改造為全自動(dòng)程控轉(zhuǎn)移系統(tǒng)

九、質(zhì)保與配套技術(shù)服務(wù)

1. 質(zhì)保政策：整機(jī)標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)保 1 年，微分微調(diào)滑軌、溫控加熱組件、真空傳感器核心部件 2 年質(zhì)保；

2. 技術(shù)支持：免費(fèi)提供設(shè)備操作手冊(cè)、全套二維材料干濕法轉(zhuǎn)移標(biāo)準(zhǔn)工藝方案、遠(yuǎn)程操作指導(dǎo)；

3. 定制服務(wù)：支持臺(tái)面尺寸、溫控區(qū)間、位移行程、拓展接口非標(biāo)定制；

4. 交付周期：標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型 7 個(gè)工作日發(fā)貨，帶多套選配模塊定制機(jī)型 15~20 個(gè)工作日交付；

5. 增值服務(wù)：工程師上門裝機(jī)調(diào)試、設(shè)備精度校準(zhǔn)、課題組人員實(shí)操培訓(xùn)、長期工藝技術(shù)咨詢。