FST-PQ01 高精度電動二維材料轉(zhuǎn)移系統(tǒng) 

企業(yè)

一、產(chǎn)品主標題

二、產(chǎn)品簡介

三、整機系統(tǒng)結(jié)構(gòu)說明

1. 電動多軸納米位移轉(zhuǎn)移單元

   XYZ 三軸電動閉環(huán)位移臺，搭配 X/Y 俯仰、Z 軸旋轉(zhuǎn)電動微調(diào)，上位機軟件精準定位，重復定位納米級，支持點位存儲、自動掃描、多點堆疊程序。

2. PID 恒溫真空溫控載物臺

   陶瓷真空吸附臺面，寬溫區(qū)連續(xù)控溫，支持階梯升溫退火工藝，內(nèi)置風冷快速降溫，防止超薄薄膜高溫氧化、形變；負壓分段可調(diào)，適配 PDMS、PC、硅片、石英等多種襯底。

3. 三目金相顯微成像觀測單元

   三目鏡筒搭配高清工業(yè)相機與顯示監(jiān)視器，同軸環(huán)形冷光源，高倍率清晰分辨單層二維材料邊界，實時可視化監(jiān)控薄膜剝離、對準、貼合全過程。

4. 消音真空吸附氣控單元

   無油消音隔膜真空泵，分段負壓調(diào)節(jié)，可切換干法剝離、濕法撈膜兩種主流工藝，避免超薄薄膜撕裂、滑移。

5. 全自動運動控制主機與上位機軟件

   獨立電控機箱，配套 Windows 可視化程控軟件，可自定義運動軌跡、溫度曲線、堆疊流程，支持無人值守自動批量樣品制備。

6. 阻尼隔振光學底座

   一體化鑄鐵阻尼隔振平臺，隔絕地面震動干擾，保障納米級對準精度長期穩(wěn)定。

四、核心技術(shù)參數(shù)總表

五、產(chǎn)品核心優(yōu)勢

1. 全電動閉環(huán)自動控制，樣品制備高度可復現(xiàn)

2. 可視化全自動堆疊，支持批量無人值守實驗

3. 納米級超高定位精度，超薄二維薄膜無損傷對準

4. 一體化溫控退火模塊，兼容全品類二維材料工藝

5. 模塊化拓展設(shè)計，一機集成全套表征系統(tǒng)

6. 標配阻尼隔振底座，杜絕震動導致對位漂移

7. 干濕法雙工藝兼容，覆蓋全部二維材料制備需求

六、典型應(yīng)用領(lǐng)域

1. 二維范德華異質(zhì)結(jié)制備

   石墨烯 /hBN 垂直堆疊、多層 TMDs 異質(zhì)結(jié)構(gòu)、鈣鈦礦二維復合薄膜、磁性二維材料堆疊；

2. 光電器件研發(fā)制備

   二維材料場效應(yīng)晶體管、光電探測器、柔性憶阻器、微納發(fā)光器件樣品制備；

3. 半導體微納表征實驗

   大面積薄膜 PL / 拉曼 Mapping 掃描、器件原位電學測試、載流子輸運特性研究；

4. 高校教學科研平臺

   材料、物理、微電子專業(yè)教學演示、本科生課題、研究生論文標準化樣品制備；

5. 企業(yè)研發(fā)中心小批量器件試制

   柔性電子、光傳感、新型半導體器件小批量樣品自動化制備。

七、標準出廠配置清單

1. FST-PQ01 電動二維材料轉(zhuǎn)移主機（含阻尼隔振光學底座）

2. 電動 XYZ 三軸位移轉(zhuǎn)移頭 + 電動角度微調(diào)模組

3. 200℃ PID 真空吸附溫控陶瓷載物臺

4. 三目金相顯微鏡 + 高清工業(yè)成像相機 + 21.5 寸監(jiān)視器

5. 無油消音真空泵 + 全套真空管路、負壓調(diào)節(jié)閥

6. 獨立伺服電控驅(qū)動機箱、配套上位機控制軟件

7. PDMS 襯底、玻璃載片、標準樣品夾具全套耗材

8. 整機電源線、信號傳輸線、操作手冊、配套工具包

八、可選拓展選配模塊

1. 原位電學探針測試模組：實現(xiàn)堆疊后 IV、光電響應(yīng)原位測試

2. 高真空密閉腔體模組：隔絕水汽氧化，適配黑磷、鈣鈦礦等易氧化材料

3. 大面積 LED 太陽光模擬器、多波長單色 LED 光源

4. 更高行程電動位移臺、低溫制冷溫控臺、自動點膠模組

5. 氣浮隔振平臺升級方案、手套箱內(nèi)部適配改造套件

九、質(zhì)保與配套技術(shù)服務(wù)

1. 質(zhì)保政策：整機標準質(zhì)保 1 年，電動位移滑軌、光柵傳感器、溫控加熱核心部件 2 年質(zhì)保；

2. 技術(shù)支持：免費提供設(shè)備操作手冊、上位機控制軟件、二維材料全套轉(zhuǎn)移工藝方案；

3. 定制服務(wù)：支持位移行程、溫控區(qū)間、真空腔體、通訊接口非標定制；

4. 交付周期：標準機型 7 個工作日出貨，帶多套選配模塊定制機型 15~20 個工作日交付；

5. 增值服務(wù)：工程師上門裝機、光路與精度校準、操作人員完整實操培訓、長期遠程工藝技術(shù)指導。