中文名高真空離子濺射儀外文名SputterCoaster特點(diǎn)自動洗靶，自動濺射范圍不使用膜厚監(jiān)控多循環(huán)9次1使用膜厚監(jiān)控1.打開總電源，打開氬氣開關(guān)（兩成保持在0.035Mpa左右，濺射時(shí)也要注意氬氣的流量）。2.按主機(jī)背面的開關(guān)按鈕，進(jìn)入開機(jī)界面，根據(jù)提示進(jìn)行下面一系列的操作。3.接下來儀器就開始自動洗靶，自動濺射，濺射結(jié)束后要稍等片刻，然后按stop放氣。待放氣操作完成后，開蓋，取出樣品。4.TargetBtype操作同上。2不使用膜厚監(jiān)控1.其余操作步驟同上，但要根據(jù)自己的需要設(shè)置濺射電流和濺射時(shí)間（長時(shí)間是4min），和循環(huán)次數(shù)（多循環(huán)9次），按上下鍵設(shè)置時(shí)間。2.接下來儀器就開始自動詳情>>
離子濺射儀價(jià)格
