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薄膜厚度測量技術(shù)比較

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更新時間：2026-07-20 11:44:27瀏覽次數(shù)：231次

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產(chǎn)品簡介

薄膜厚度測量技術(shù)比較

詳細介紹

參數(shù)	FR-系列	橢偏儀	探針針式輪廓儀	X 射線反射率 (XRR)
最小測量厚度	1nm	<1nm	20nm	<1nm
測量厚度	500um	10um	Few mm	200-300 nm (depending on the contrast)
折射率測量	是	是	否	否
厚度測繪	是	是	是	Time consuming
階高輪廓	否	否	是	否
制程即時監(jiān)控能力	高	中等	N/A	N/A
探頭位于樣品正上方	是	否	否	否
整體測量速度	高	中等	Slow	Very Slow
數(shù)據(jù)獲取率	10msec / 每次測量	>2sec-快速模式, >10 sec. –標(biāo)準(zhǔn)模式	5-30sec / 每次測量	平均：30 分鐘 / 每次測量
可移動性	是	否	否	否
易于使用	是	中等	是	否
破壞性檢測	否	否	是	否
需特別訓(xùn)練	否	是	否	是
移動部件	否	是	是	是
重復(fù)性/穩(wěn)定性	0.1nm	0.1nm	0.4nm	是
熱環(huán)境測量	是	是	否	Ν/Α
樣品制備	否	否	是	否
多層測量	是	是	否	是
定制	是	否	否	是
反射率、透射率、吸收率、鏡面反射/漫反射、霧度、顏色測量	是	是(特定條件下)	否	否
尺寸	手持/桌面體積小(>300mm W x 110mm D x 40mm H)*	桌面體積中等(500 mm W x 300 mm D x 300 mm H)	桌面體積中等(450 mm W x 550 mm D x 350 mm H)	體積大(1400mm W x 850mm D x 1800 H)
重量	0.65Kg *	>17 kg	>30 kg	>350Kg
更換零件的價格	低	高	高	極高
價格（基本系統(tǒng)）	低(<$10K)	高(>$30K)	高(>$30K)	極高
可測量特性	膜厚折射率表面粗糙度均勻度	單波長橢偏儀膜厚折光率橢偏儀膜厚折射率表面粗糙度均勻度雙折射結(jié)晶度各向異性	膜厚臺階高度粗糙度波度二維應(yīng)力表面曲率	除了厚度之外，還提供以下信息：每個子層的粗糙度、密度和厚度、子層之間的相互擴散