HORIS L12系列管式LPCVD主要用于156mm及以上的TOPCon光伏高效電池的超薄隧穿氧化層和Poly薄膜工藝，該設(shè)備為多管結(jié)構(gòu)，每管可單獨(dú)工藝。設(shè)備主要包括上下料系統(tǒng)、反應(yīng)室系統(tǒng)、真空控制系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、水平傳輸系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)等部件組成。主要的工藝模塊是用于電池背面形成載流子選擇性通過的隧穿氧化層，有助于提高電池開壓，達(dá)到提升電池效率的目的。