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半導(dǎo)體裝備

移載傳送設(shè)備

氧化擴散設(shè)備

長晶爐設(shè)備

化學(xué)氣相沉積設(shè)備

物理氣相沉積設(shè)備

濕法設(shè)備

等離子刻蝕設(shè)備

紫外線固化爐

氣體測量控制

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