FLOURIS X201P主要用于8英寸中溫氧化及退火工藝。設備為批式熱處理設備，由工藝腔室、傳輸系統(tǒng)、氣體分配系統(tǒng)和溫度控制系統(tǒng)等組成，具有片內(nèi)均勻性好、自動化程度高、系統(tǒng)性能穩(wěn)定的特點，可滿足大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線要求，可實現(xiàn)常規(guī)氧化及BPSG回流退火等工藝，溫度控制可調(diào)，精度高。