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JKZC-XY-16A雙軸長行程壓電滑臺(tái)基于粘滑仿生運(yùn)動(dòng)原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動(dòng)技術(shù)，具有數(shù)厘米級(jí)行程和納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度。

JKZC-XY-16B雙軸長行程壓電滑臺(tái)基于粘滑仿生運(yùn)動(dòng)原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動(dòng)技術(shù)，具有數(shù)厘米級(jí)行程和納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度。

JKZC-XY-36B雙軸長行程壓電滑臺(tái)基于粘滑仿生運(yùn)動(dòng)原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動(dòng)技術(shù)，具有數(shù)厘米級(jí)行程和納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度。

JKZC-XY-100A 雙軸長行程壓電滑臺(tái)基于粘滑仿生運(yùn)動(dòng)原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動(dòng)技術(shù)，具有數(shù)厘米級(jí)行程和納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度。

JKZC-Z-10AT長行程壓電升降臺(tái)基于粘滑仿生運(yùn)動(dòng)原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動(dòng)技術(shù)，具有數(shù)厘米級(jí)行程和納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度。

大口徑快反鏡采用差分驅(qū)動(dòng)與差分傳感設(shè)計(jì)，通過負(fù)載平面的兩軸(θx,θy)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)高精密指向與調(diào)姿，輸出扭矩大，響應(yīng)速度快，控制精度高，動(dòng)態(tài)性能好。

單軸長行程壓電滑臺(tái)基于粘滑仿生運(yùn)動(dòng)原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動(dòng)技術(shù)，具有數(shù)厘米級(jí)行程和納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度。

電容式微位移傳感器基于電容電極間均勻電場變化時(shí)電容值的變化量來實(shí)現(xiàn)納米級(jí)位移的精確測量?？蓪?shí)現(xiàn)非接觸測量，保證了的測量分辨率、線性度以及高測量帶寬，滿足各種應(yīng)用...

電容式微位移傳感器基于電容電極間均勻電場變化時(shí)電容值的變化量來實(shí)現(xiàn)納米級(jí)位移的精確測量?？蓪?shí)現(xiàn)非接觸測量，保證了的測量分辨率、線性度以及高測量帶寬，滿足各種應(yīng)用...

二維高速壓電偏擺鏡 采用差分驅(qū)動(dòng)與差分傳感設(shè)計(jì)，通過負(fù)載平面的兩軸(θx,θy)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)高精密指向與調(diào)姿，輸出扭矩大，響應(yīng)速度快，控制精度高。

JKZC系列 高精度六自由度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)可實(shí)現(xiàn)多自由度運(yùn)動(dòng)，動(dòng)態(tài)范圍大，承載大，穩(wěn)定性強(qiáng)，任意指定轉(zhuǎn)動(dòng)中心，可滿足各種工業(yè)需求，適應(yīng)大氣和真空環(huán)境。廣泛應(yīng)用于顯...

JKZC-IM系列高精度六自由度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)可實(shí)現(xiàn)多自由度運(yùn)動(dòng)，動(dòng)態(tài)范圍大，承載大，穩(wěn)定性強(qiáng)，任意指定轉(zhuǎn)動(dòng)中心，可滿足各種工業(yè)需求，適應(yīng)大氣和真空環(huán)境。廣泛應(yīng)用...

JKZC-TM系列 高精度六自由度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)可實(shí)現(xiàn)多自由度運(yùn)動(dòng)，動(dòng)態(tài)范圍大，承載大，穩(wěn)定性強(qiáng)，任意指定轉(zhuǎn)動(dòng)中心，可滿足各種工業(yè)需求，適應(yīng)大氣和真空環(huán)境。廣泛應(yīng)...

高精度晶圓對位平臺(tái)采用音圈電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)的并聯(lián)機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，具有速度快、剛度高、承載能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。滿足工業(yè)產(chǎn)線上高精度、高頻率的對位、綁定、貼合、組裝等應(yīng)用需求。

高精度旋轉(zhuǎn)平臺(tái)基于粘滑仿生運(yùn)動(dòng)原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動(dòng)技術(shù)，提供連續(xù)旋轉(zhuǎn)的同時(shí)保證納米級(jí)分辨率，擁有的可拓展性和可集成性。

高速納米掃描臺(tái)基于音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)和高精度導(dǎo)向模組實(shí)現(xiàn)納米級(jí)超高分辨力的定位/掃描直線運(yùn)動(dòng)，內(nèi)置光柵位移傳感器，具有納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率和運(yùn)動(dòng)精度，同時(shí)兼具高速、高動(dòng)態(tài)...

專為芯片-品圓鍵合(Dle-to-Wafer,D2W)應(yīng)用場景而設(shè)計(jì)，具備高精度、高動(dòng)態(tài)吶應(yīng)、且可集成于多種封裝設(shè)備的納米級(jí)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)。

任何位移臺(tái)都有6個(gè)自由度:3個(gè)分別沿著x、y、z軸方向的平移自由度，另外3個(gè)則是圍繞x、yz軸的旋轉(zhuǎn)自由度(如圖1)。

精密運(yùn)動(dòng)位移臺(tái)基于步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)和高精度導(dǎo)向模組實(shí)現(xiàn)納米級(jí)超高分辨力的定位/掃描直線運(yùn)動(dòng)，內(nèi)置光柵位移傳感器，結(jié)構(gòu)緊湊，通過自主研發(fā)的高性能納米伺服系統(tǒng)獲得優(yōu)異的...

JKZC系列絕對式納米光柵尺傳感器基于阿米精控自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)量測系統(tǒng)設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)非接觸測量，保證了的測量分辨率，滿足各種應(yīng)用場景下納米級(jí)的測量需求。