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公司介紹主營產(chǎn)品

位于中國上海浦東外高橋保稅區(qū)的伯東企業(yè)（上海）有限公司創(chuàng)建于1995年12月，, 是日本伯東株式會社獨資設立的外商投資企業(yè)，公司注冊資金為200萬美元，到目前為止公司從業(yè)員工有400多人。
伯東企業(yè)（上海）有限公司真空產(chǎn)品事業(yè)部()專業(yè)銷售及維修德國Pfeiffer單雙級旋片泵，干泵，羅茨泵，分子泵；應用于各種條件下的真空測量(真空計, 真空規(guī)管)；檢漏儀，質譜儀，真空系統(tǒng)等等, 維修技術力量雄厚，保證 100 % 擁有標準的德國Pfeiffer原廠測試設備及調(diào)整工具和德國Pfeiffer專業(yè)培訓工程師，多年來致力于真空系統(tǒng)的安裝、調(diào)試、維修、拆機、保養(yǎng)等，具有優(yōu)良的專業(yè)技能和服務意識，并獲得原廠*維修資質證書。利用 Pfeiffer 進口檢測設備對維修后的產(chǎn)品做*性能測試。

另外公司還是美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 德國普發(fā) Pfeiffer 真空設備, 美國 KRI 考夫曼離子源, 日本 NS 離子蝕刻機, 美國 HVA 真空閥門, 美國 Gel-pak 芯片包裝盒,比利時Europlasma 等離子表面處理機 , 日本 Atonarp過程質譜儀和美國 Ambrell 感應加熱設備等進口品牌的指定代理商 .我們真誠期待與您的合作!

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產(chǎn)品簡介在線詢價

產(chǎn)地	進口	加工定制	否

上海伯東代理美國* KRI 射頻離子源 RFICP 220 高能量柵極離子源,適用于離子濺鍍,離子沉積和離子蝕刻. 在離子束濺射工藝中, 離子源 RFICP 220 配有離子光學元件,可以很好的控制離子束去濺射靶材, 實現(xiàn)薄膜特性.

上海伯東代理 KRI 射頻離子源 RFICP 220 產(chǎn)品詳情

價格電議

KRI 射頻離子源 RFICP 220

上海伯東代理美國* KRI 射頻

離子源 RFICP 220 高能量柵極離子源,適用于離子濺鍍,離子沉積和離子蝕刻. 在離子束濺射工藝中, 離子源 RFICP 220 配有離子光學元件,可以很好的控制離子束去濺射靶材, 實現(xiàn)薄膜特性. 同樣的在離子束輔助沉積和離子束刻蝕工藝中, 離子光學元件能夠完成發(fā)散和聚集離子束的任務. 標準配置下離子源 RFICP 220 離子能量范圍 100 至 1200ev, 離子電流可以超過 800 mA.

KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術參數(shù)：

型號	RFICP 220
供電	RF 射頻感應耦合
- 陰極燈絲	-
- 射頻功率	2 KW
電子束	OptiBeam™
- 柵極	,自對準
-柵極直徑	22 cm
中和器	LFN 2000
電源控制	RFICP 1510-2-10-LFNA
配置	-
- 陰極中和器	LFN2000 or MHC1000 or RFN
- 安裝	移動或快速法蘭
- 高度	11.8'
- 直徑	16.1'
- 離子束	聚焦平行散設
-加工材料	金屬電介質半導體
-工藝氣體	惰性活性混合
-安裝距離	8-45”
- 自動控制	控制4種氣體

* 可選: 燈絲中和器; 可變長度的增量
射頻離子源 RFICP 220
射頻離子源 RFICP 220
KRI 考夫曼離子源 RFICP 220 應用領域：

預清洗

表面改性

輔助鍍膜(光學鍍膜)IBAD,

濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC

離子濺射沉積和多層結構 IBSD

離子蝕刻 IBE

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創(chuàng)立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發(fā)生產(chǎn)

考夫曼離子源 Gridded 和霍爾離子源 Gridless. 美國考夫曼離子源歷經(jīng) 40 年改良及發(fā)展已取得多項. 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射沉積 IBSD 領域, 上海伯東是美國考夫曼離子源 (離子槍) 中國總代理.

若您需要進一步的了解詳細產(chǎn)品信息或討論 , 請參考以下聯(lián)絡方式 :

上海伯東 : 羅先生中國臺灣伯東 : 王小姐

關鍵詞：標準

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