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Strain Viewer 內(nèi)應(yīng)力檢測(cè)儀

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時(shí)間2024-08-09
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)上海
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量167
  • 人氣值3986
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上海德竹芯源科技有限公司是一家專注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領(lǐng)域的設(shè)備銷售、系統(tǒng)集成、設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的公司。主要為高校、研究所、中試量產(chǎn)線及晶圓FAB廠提供半導(dǎo)體工藝設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備、封裝設(shè)備、測(cè)試設(shè)備。目前公司已成為國(guó)內(nèi)少數(shù)幾家專業(yè)提供半導(dǎo)體工藝、檢測(cè)、封裝、測(cè)試整體解決方案的企業(yè)。公司主要成員為復(fù)旦大學(xué)、上海微系統(tǒng)所等半導(dǎo)體相關(guān)專業(yè)博士,擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)過(guò)硬的團(tuán)隊(duì)。能夠出色地完成售前售中、售后的服務(wù)。目前公司已與眾多國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等),致力于根據(jù)用戶的科研方向和量產(chǎn)的器件類別提供相應(yīng)的全套設(shè)備選型和工藝整體解決方案。
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Strain Viewer 內(nèi)應(yīng)力檢測(cè)儀具備透光材料內(nèi)應(yīng)力分布測(cè)量及缺陷篩查等檢測(cè)功能。
Strain Viewer 內(nèi)應(yīng)力檢測(cè)儀 產(chǎn)品詳情

優(yōu)勢(shì)

● 基于雙折射應(yīng)力測(cè)量模型實(shí)現(xiàn)應(yīng)力瞬時(shí)測(cè)量,顯示應(yīng)力二維分布偽彩圖
● 采用雙遠(yuǎn)心檢測(cè)光路,相位延遲測(cè)量精度高
● 根據(jù)不同測(cè)量視場(chǎng)要求,多種鏡頭可選
● 訂制化樣品托盤,適應(yīng)不同規(guī)格晶圓批量測(cè)試


適用對(duì)象

適用于三代化合物晶圓片、玻璃晶圓片、精密光學(xué)元件(平晶,棱鏡,波片,透鏡等)的內(nèi)應(yīng)力檢測(cè)


適用領(lǐng)域
面向化合物晶圓生產(chǎn)、光學(xué)精密加工等行業(yè)


檢測(cè)原理
● 基于偏振光應(yīng)力雙折射效應(yīng)檢測(cè)晶圓材料內(nèi)部應(yīng)力分布。當(dāng)晶體材料由于內(nèi)部缺陷存在應(yīng)力集中時(shí)會(huì)導(dǎo)致應(yīng)力雙折射效應(yīng),偏振光透過(guò)它時(shí)會(huì)發(fā)生偏振態(tài)調(diào)制,通過(guò)測(cè)量透射光的斯托克斯矢量可以推算出材料的應(yīng)力延遲量,從而得到材料內(nèi)應(yīng)力分布
● 可同步集成晶圓表面缺陷暗場(chǎng)檢測(cè)和尺寸量測(cè)


實(shí)測(cè)案例

Strain Viewer技術(shù)規(guī)格




瑞霏光電內(nèi)應(yīng)力檢測(cè)儀將全口徑延遲、應(yīng)力方位角等分析整合進(jìn)入一鍵測(cè)量,確??蛻裟芸焖俅_認(rèn)工藝。

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