武漢標(biāo)準(zhǔn)探針臺(tái)（2英寸）樣品臺(tái)為室溫手動(dòng)款，應(yīng)用于中小尺寸圓晶、芯片及新材料的非破壞性測(cè)試，適配高?？蒲泻托∫?guī)模器件測(cè)試場(chǎng)景。

武漢標(biāo)準(zhǔn)探針臺(tái)（2英寸）樣品臺(tái)核心結(jié)構(gòu)

樣品臺(tái)核心參數(shù)：固定方式以多孔分區(qū)真空吸附為主，材質(zhì)多為無(wú)氧銅鍍金，保障導(dǎo)電與穩(wěn)定性，可穩(wěn)固固定 2 英寸晶圓，無(wú)需頻繁挪動(dòng)探針即可完成全樣品測(cè)試。

移動(dòng)與定位精度：X - Y 軸移動(dòng)行程通常為 ±50mm，適配的探針臂多支持 XYZ 軸三維微調(diào)，讀數(shù)精度達(dá) 10μm，微調(diào)精度可達(dá) 1μm

探針與信號(hào)傳輸：可安裝 4 - 6 個(gè)探針臂，可任意移動(dòng)，適配不同測(cè)試點(diǎn)位，部分真空款還支持 DC 到 67GHz 的寬范圍測(cè)量

觀(guān)測(cè)系統(tǒng)：搭載連續(xù)變倍光學(xué)顯微鏡，部分機(jī)型搭配高清相機(jī)，能清晰觀(guān)測(cè)探針與樣品的接觸狀態(tài)

武漢理化儀器提供標(biāo)準(zhǔn)化與定制化的半自動(dòng)/全自動(dòng)探針臺(tái)，尺寸規(guī)格多，武漢理化儀器提醒用戶(hù)在使用手動(dòng)探針臺(tái)時(shí)一定要交樣品固定。

探針臺(tái)的基本配件：

Chuck - 這種裝置用于固定晶片或裸片，同時(shí)確保不會(huì)對(duì)其造成損壞。

載物臺(tái) - 它負(fù)責(zé)將卡盤(pán)精確地定位在X、Y、Z和Theta (θ)軸上。

機(jī)械手 - 機(jī)械手負(fù)責(zé)將探頭精準(zhǔn)地移動(dòng)到被測(cè)設(shè)備（DUT）上。

壓板 - 壓板用于固定操縱器，確保探針與設(shè)備接觸時(shí)穩(wěn)定可靠。

探頭和臂 - 這些部件安裝在機(jī)械手上，直接與被測(cè)設(shè)備接觸，進(jìn)行測(cè)試。

光學(xué)系統(tǒng) - 光學(xué)系統(tǒng)提供視覺(jué)放大，幫助用戶(hù)清晰地查看被測(cè)設(shè)備和探頭頂部。