詳細(xì)摘要: 佳能KrF光刻機(jī)FPA-6300ESW采用248nmKRF曝光光源,分辨率130nm,專為12英寸晶圓設(shè)計(jì)
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青島佳鼎分析儀器有限公司
詳細(xì)摘要: 佳能KrF光刻機(jī)FPA-6300ESW采用248nmKRF曝光光源,分辨率130nm,專為12英寸晶圓設(shè)計(jì)
產(chǎn)品型號(hào):所在地:更新時(shí)間:2023-04-16 在線留言詳細(xì)摘要: FPA-3030i5+步進(jìn)器旨在滿足并超越物聯(lián)網(wǎng)和MEMS制造商的要求
產(chǎn)品型號(hào):所在地:更新時(shí)間:2023-04-16 在線留言詳細(xì)摘要: FPA-3030i5a支持直徑為200毫米或更小的較小基板
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產(chǎn)品型號(hào):所在地:更新時(shí)間:2023-04-16 在線留言詳細(xì)摘要: 光學(xué)系統(tǒng)曝光時(shí)間調(diào)解器:0.1至999.9秒(可調(diào)節(jié)精度0.1s)
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產(chǎn)品型號(hào):所在地:更新時(shí)間:2023-04-16 在線留言詳細(xì)摘要: ASMLi-line光刻機(jī)PAS5000/40使用0.40NAi-line鏡頭,像場(chǎng)直徑為21.1mm
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產(chǎn)品型號(hào):所在地:更新時(shí)間:2023-04-16 在線留言詳細(xì)摘要: ASMLARF光刻機(jī)PAS5500/1100B支持8"/200mm工藝節(jié)點(diǎn)
產(chǎn)品型號(hào):所在地:更新時(shí)間:2023-04-16 在線留言詳細(xì)摘要: PAS5500/1150C193nm步進(jìn)掃描系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)成本效益的90nmArF批量生產(chǎn)
產(chǎn)品型號(hào):所在地:更新時(shí)間:2023-04-16 在線留言詳細(xì)摘要: ASML推出了一種用于0.35微米成像的新型i-line光刻系統(tǒng),旨在幫助客戶從0.5微米以上的制造技術(shù)過(guò)渡到更嚴(yán)格的分辨率
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