Polaris系列PVD系統(tǒng)主要由大氣平臺，真空傳輸平臺，去氣腔室（Degas），預清潔腔室和工藝腔室組成，設備采用Cluster Tool結構，可配置多個工藝腔室、預清洗腔室和去氣腔室，適合封裝領域薄膜制備大規(guī)模生產(chǎn)。Polaris系列PVD為全自動大產(chǎn)能設備，具有反應腔自動開閉蓋、晶圓自動傳輸、工藝去氣、晶圓表面預清潔、薄膜沉積自動化等特點。