PVD ITO 濺射系統(tǒng)

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品牌
型號(hào) iTops Series
廠商性質(zhì) 其他
所在地 北京市

屬性

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更新時(shí)間：2025-09-06 07:52:49瀏覽次數(shù)：176評(píng)價(jià)

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產(chǎn)品分類品牌分類

半導(dǎo)體裝備

移載傳送設(shè)備

氧化擴(kuò)散設(shè)備

長(zhǎng)晶爐設(shè)備

化學(xué)氣相沉積設(shè)備

物理氣相沉積設(shè)備

濕法設(shè)備

等離子刻蝕設(shè)備

紫外線固化爐

氣體測(cè)量控制

輔助設(shè)備

全部產(chǎn)品列表

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

iTopsSeriesPVDITO濺射系統(tǒng)iTopsSeriesPVDITOSputterSystemiTops濺射系統(tǒng)主要用于4、6、8英寸ITO沉積工藝

詳細(xì)介紹

iTops Series PVD ITO 濺射系統(tǒng)

iTops Series PVD ITO Sputter System

iTops 濺射系統(tǒng)主要用于4、6、8英寸ITO沉積工藝。系統(tǒng)由1個(gè)傳輸模塊、4個(gè)工藝模塊、附屬設(shè)備以及電源柜組成。該機(jī)臺(tái)為多腔室設(shè)備，6K平臺(tái)可配備不同的工藝腔室，并且可搭配loading機(jī)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn)。

設(shè)備特點(diǎn)

采用托盤形式，可兼容2/4/6 英寸晶圓
工藝溫度在0~700℃之間
結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作簡(jiǎn)便，維護(hù)方便
設(shè)備穩(wěn)定，運(yùn)營(yíng)成本低

產(chǎn)品應(yīng)用

晶圓尺寸
2、4、6英寸
適用材料
銦錫氧化物
適用工藝
ITO電流擴(kuò)展層
適用領(lǐng)域
半導(dǎo)體照明

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