Hesper E230A適用于12英寸N/P硅外延生長，產(chǎn)品自主研發(fā)了多路多區(qū)進(jìn)氣導(dǎo)流結(jié)構(gòu)、多區(qū)紅外加熱溫控系統(tǒng)，具備高潔凈腔室控制技術(shù)、膜厚均勻性控制技術(shù)、電阻率均勻性控制技術(shù)，產(chǎn)品各項指標(biāo)均達(dá)到水平。