Esther E320A主要用于5、6、8英寸硅外延工藝。該機(jī)臺能夠高度自動化運(yùn)行工藝。系統(tǒng)主要由傳輸模塊、工藝腔室模塊、控制模塊等組成。其中工藝模塊是完成硅外延工藝生長的核心，主要包括加熱系統(tǒng)、腔室系統(tǒng)和旋轉(zhuǎn)升降系統(tǒng)，的紅外控溫系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)溫度的快速升降和穩(wěn)定，從而保證了工藝的重復(fù)性和設(shè)備的穩(wěn)定性，專業(yè)設(shè)計的氣流場與溫場保證了外延片良好的厚度均勻性、電阻率均勻性、零滑移線和低缺陷密度。專業(yè)的傳輸模塊可以在兼容多種晶圓尺寸的同時實(shí)現(xiàn)良好的顆?？刂?，工藝穩(wěn)定性高。