FPALT-altisurf530 12英寸晶圓輪廓儀

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型號FPALT-altisurf530
品牌
所在地
更新時間2024-05-03

孚光精儀（中國）有限公司

廠商性質經銷商
所在地區(qū)
實名認證已認證
產品數量1482
人氣值21260

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12英寸晶圓輪廓儀是為半導體晶圓形貌測量設計的多功能晶圓形貌儀器，集成光學傳感器,實現無接觸地測量樣本

12英寸晶圓輪廓儀產品詳情

12英寸晶圓輪廓儀是為半導體晶圓形貌測量設計的多功能晶圓形貌儀器，集成光學傳感器,實現無接觸地測量樣本。
12英寸晶圓輪廓儀為半導體應用而開發(fā)，適用于12''晶圓檢查,具有自對準功能
12英寸晶圓輪廓儀已應用于雕刻測量、紋理、拋光或微結構表面狀態(tài)，尤其是在半導體晶圓的形貌測量。
**技術
彩色共焦
可見光和紅外干涉測量
激光三角測量
所有表面均可測量（粗糙的,透明的，拋光的表面等）

12英寸晶圓輪廓儀規(guī)格參數
XYZ行程范圍：300mm x 300mm x 100mm
***大速度：40mm/s
軸向平整度： <5u/300mm
軸向分辨率：0.062um
測量傳感器：非接觸式共聚焦傳感器
測量范圍：100um-25mm
Z軸分辨率：可達3nm
橫向分辨率：0.9um
臺階高度測量：0.005%
粗糙度測量Ra/Sa: 20nm/20nm
***小測量厚度：4um

關鍵詞：輪廓儀

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