武漢8英寸/12英寸探針臺(tái)技術(shù)參數(shù)是一種用于半導(dǎo)體、材料科學(xué)等領(lǐng)域的精密測(cè)試儀器，主要用于對(duì)半導(dǎo)體晶圓、芯片、材料樣品等進(jìn)行電氣性能測(cè)試和分析。

武漢8英寸/12英寸探針臺(tái)技術(shù)參數(shù)

臺(tái)體

Chuck尺寸：8英寸  12英寸

快速抽拉：行程-110mm  行程-150mm

水平旋轉(zhuǎn)：可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置

X-Y氣浮移動(dòng)：可360℃氣浮移動(dòng)，便于快速定位樣品

X-Y移動(dòng)行程：8英寸*8英寸  12英寸*12英寸  

X-Y移動(dòng)精度：1um/2um

樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)

針座平臺(tái)：最多可放置8個(gè)探針座或12個(gè)探針座

平臺(tái)升降：可快速升降6mm/可微調(diào)升降25mm

背電極測(cè)試：樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極

顯微鏡

顯微鏡類型：?jiǎn)瓮诧@微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

放大倍率：16X-100X/20X-4000X

移動(dòng)行程：X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸行程50.8mm（Z軸可選氣動(dòng)升降，全面快速進(jìn)行物鏡切換）

光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源

CCD:200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素

探針座

X-Y-Z移動(dòng)行程：12mm*12mm*12mm

移動(dòng)精度：10um/2um/0.7um/0.5um/0.35um

吸附方式：磁力吸附/真空吸附

DC調(diào)節(jié)點(diǎn)測(cè)角度：0-30℃

RF調(diào)節(jié)角度：多點(diǎn)控頭調(diào)水平旋鈕，可以+-10℃調(diào)節(jié)，精度0.1度

探針夾具

線纜：同軸線/三軸線/射頻線/開爾文線

漏電精度：10pA/100fA/10fA

固定探針：彈簧固定/管狀固定

接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子/射頻接口

DC針尖直徑：0.2um/lum/2um/5um/10um/20um/50um/100um

RF探針頻率：40GHz/50GHz/67GHz/110GHz

材質(zhì)：鎢鋼/鈹銅/鍍鎳

外形：900mm*700mm*900mm  /950mm長(zhǎng) *700mm寬*700mm高

重量：約150千克/180千克

可選附件（根據(jù)客戶要求定制）

加熱臺(tái)

顯示器

轉(zhuǎn)接頭

射頻測(cè)試配件

屏蔽箱

防震桌

鍍金卡盤

光電測(cè)試配件