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公司介紹主營產品

北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司（以下簡稱“北方華創(chuàng)”）成立于2001年9月，2010年在深圳證券交易所上市，代碼002371，是目前國內集成電路工藝裝備的企業(yè)。北方華創(chuàng)以科技創(chuàng)新為基點，著眼未來，致力于加快推進北方華創(chuàng)向新型制造業(yè)的戰(zhàn)略轉型；致力于成為半導體基礎產品領域值得信賴的者；致力于提升人類智能生活品質；致力于實現中國“智造強國”的夢想藍圖。北方華創(chuàng)主營半導體裝備、真空及鋰電裝備、精密元器件業(yè)務，為半導體、新能源、新材料等領域提供解決方案。公司現有六大研發(fā)生產基地，營銷服務體系覆蓋歐、美、亞等主要國家和地區(qū)。未來的北方華創(chuàng)，將以半導體基礎產品領域企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺，深耕發(fā)展，未來，堅持以客戶為中心，以價值創(chuàng)造者為本，持續(xù)創(chuàng)新，推動產業(yè)進步，創(chuàng)造無限可能。

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NMC508Gt深槽刻蝕機NMC508GtDeepTrenchEtcherNMC508Gt為高密度等離子體刻蝕機，適用6/8英寸硅深槽干法刻蝕工藝

深槽刻蝕機產品詳情

NMC 508Gt 深槽刻蝕機

NMC 508Gt Deep Trench Etcher

NMC 508Gt為高密度等離子體刻蝕機，適用6/8英寸硅深槽干法刻蝕工藝。擁有溝槽頂部圓化能力，具備優(yōu)秀的形貌控制、高刻蝕速率、高刻蝕均勻性、低顆粒/缺陷等性能優(yōu)勢。該機臺為多腔室集群設備，可全自動并行工藝、易維護、性能穩(wěn)定、產能高、客戶擁有成本低，適用于集成電路、功率半導體中深槽刻蝕工藝。

設備特點

優(yōu)化的進氣系統(tǒng)和ESC系統(tǒng)，提高均勻性
量產穩(wěn)定，高MTBC
光滑的側壁形貌控制
靈活的側壁角度可調性，便于后道填充
低擁有成本、低運營成本

產品應用

晶圓尺寸
6/8英寸兼容
適用材料
硅
適用工藝
深硅刻蝕
適用領域
集成電路、功率半導體

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