PSE V300 深硅刻蝕機

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型號PSEV300
品牌
所在地北京市
更新時間2025-09-06

北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司

廠商性質(zhì)其他
所在地區(qū)北京市
實名認證已認證
產(chǎn)品數(shù)量115
人氣值2344

產(chǎn)品標簽

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公司介紹主營產(chǎn)品

北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司（以下簡稱“北方華創(chuàng)”）成立于2001年9月，2010年在深圳證券交易所上市，代碼002371，是目前國內(nèi)集成電路工藝裝備的企業(yè)。北方華創(chuàng)以科技創(chuàng)新為基點，著眼未來，致力于加快推進北方華創(chuàng)向新型制造業(yè)的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型；致力于成為半導體基礎產(chǎn)品領域值得信賴的者；致力于提升人類智能生活品質(zhì)；致力于實現(xiàn)中國“智造強國”的夢想藍圖。北方華創(chuàng)主營半導體裝備、真空及鋰電裝備、精密元器件業(yè)務，為半導體、新能源、新材料等領域提供解決方案。公司現(xiàn)有六大研發(fā)生產(chǎn)基地，營銷服務體系覆蓋歐、美、亞等主要國家和地區(qū)。未來的北方華創(chuàng)，將以半導體基礎產(chǎn)品領域企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺，深耕發(fā)展，未來，堅持以客戶為中心，以價值創(chuàng)造者為本，持續(xù)創(chuàng)新，推動產(chǎn)業(yè)進步，創(chuàng)造無限可能。

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PSEV300深硅刻蝕機PSEV300DeepSiliconEtcherPSEV300主要用于12英寸深硅刻蝕，同時兼具Bosch/Non-Bosch工藝，實現(xiàn)多工藝領域覆蓋

深硅刻蝕機產(chǎn)品詳情

PSE V300 深硅刻蝕機

PSE V300 Deep Silicon Etcher

PSE V300主要用于12英寸深硅刻蝕，同時兼具Bosch/Non-Bosch工藝，實現(xiàn)多工藝領域覆蓋。該機臺針對Bosch循環(huán)工藝方式采用專業(yè)的快速響應硬件配置及軟件流程控制，結(jié)合的工藝技術，可實現(xiàn)超高深寬比下良好的工藝性能，配置多腔平臺，滿足大產(chǎn)能量產(chǎn)使用需求。

設備特點

兼容Bosch/Non-Bosch工藝，實現(xiàn)多工藝領域覆蓋
優(yōu)化的進氣系統(tǒng)和ESC系統(tǒng)，提高均勻性
快速進氣系統(tǒng)，確?？涛g速率高，Scallop小
實現(xiàn)高深寬比的形貌控制

產(chǎn)品應用

晶圓尺寸
8/12 英寸兼容
適用材料
硅、氧化硅、氮化硅
適用工藝
2.5D&3D TSV刻蝕、深槽隔離/電容刻蝕、MEMS刻蝕
適用領域
集成電路、封裝、功率半導體、圖像傳感器、微機電系統(tǒng)

關鍵詞：圖像傳感器

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