Esther E320A 8英寸單片常壓硅外延系統(tǒng)

參考價(jià): 面議

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型號(hào)EstherE320A
品牌
所在地北京市
更新時(shí)間2025-09-06

北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司

廠商性質(zhì)其他
所在地區(qū)北京市
實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
產(chǎn)品數(shù)量115
人氣值2408

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北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“北方華創(chuàng)”）成立于2001年9月，2010年在深圳證券交易所上市，代碼002371，是目前國內(nèi)集成電路工藝裝備的企業(yè)。北方華創(chuàng)以科技創(chuàng)新為基點(diǎn)，著眼未來，致力于加快推進(jìn)北方華創(chuàng)向新型制造業(yè)的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型；致力于成為半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域值得信賴的者；致力于提升人類智能生活品質(zhì)；致力于實(shí)現(xiàn)中國“智造強(qiáng)國”的夢(mèng)想藍(lán)圖。北方華創(chuàng)主營半導(dǎo)體裝備、真空及鋰電裝備、精密元器件業(yè)務(wù)，為半導(dǎo)體、新能源、新材料等領(lǐng)域提供解決方案。公司現(xiàn)有六大研發(fā)生產(chǎn)基地，營銷服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞等主要國家和地區(qū)。未來的北方華創(chuàng)，將以半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺(tái)，深耕發(fā)展，未來，堅(jiān)持以客戶為中心，以價(jià)值創(chuàng)造者為本，持續(xù)創(chuàng)新，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)進(jìn)步，創(chuàng)造無限可能。

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EstherE320A8英寸單片常壓硅外延系統(tǒng)EstherE320A8InchSingleWaferAtmosphericPressureSiliconEpitaxySystemEstherE320A主要用于5、6、8英寸硅外延工藝

8英寸單片常壓硅外延系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

Esther E320A 8英寸單片常壓硅外延系統(tǒng)

Esther E320A 8 Inch Single Wafer Atmospheric Pressure Silicon Epitaxy System

Esther E320A主要用于5、6、8英寸硅外延工藝。該機(jī)臺(tái)能夠高度自動(dòng)化運(yùn)行工藝。系統(tǒng)主要由傳輸模塊、工藝腔室模塊、控制模塊等組成。其中工藝模塊是完成硅外延工藝生長的核心，主要包括加熱系統(tǒng)、腔室系統(tǒng)和旋轉(zhuǎn)升降系統(tǒng)，的紅外控溫系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)溫度的快速升降和穩(wěn)定，從而保證了工藝的重復(fù)性和設(shè)備的穩(wěn)定性，專業(yè)設(shè)計(jì)的氣流場(chǎng)與溫場(chǎng)保證了外延片良好的厚度均勻性、電阻率均勻性、零滑移線和低缺陷密度。專業(yè)的傳輸模塊可以在兼容多種晶圓尺寸的同時(shí)實(shí)現(xiàn)良好的顆?？刂?，工藝穩(wěn)定性高。

設(shè)備特點(diǎn)

的紅外加熱控制技術(shù)和加熱模塊設(shè)計(jì)，有效提高成膜質(zhì)量
專業(yè)的傳輸系統(tǒng)和工藝模塊設(shè)計(jì)，可兼容多種工藝用途
友好的人機(jī)交互和安全性設(shè)計(jì)，保障系統(tǒng)穩(wěn)定、安全、高效
具有單腔和多腔兩種機(jī)型，可滿足不同客戶需求

產(chǎn)品應(yīng)用

晶圓尺寸
5、6、8英寸
適用材料
硅
適用工藝
N&P常壓硅外延
適用領(lǐng)域
功率半導(dǎo)體、襯底材料、科研領(lǐng)域

關(guān)鍵詞：控制模塊

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