HORIS P12 管式等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備

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型號(hào)HORISP12
品牌
所在地北京市
更新時(shí)間2025-09-06

北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司

廠商性質(zhì)其他
所在地區(qū)北京市
實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
產(chǎn)品數(shù)量115
人氣值2515

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北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司（以下簡稱“北方華創(chuàng)”）成立于2001年9月，2010年在深圳證券交易所上市，代碼002371，是目前國內(nèi)集成電路工藝裝備的企業(yè)。北方華創(chuàng)以科技創(chuàng)新為基點(diǎn)，著眼未來，致力于加快推進(jìn)北方華創(chuàng)向新型制造業(yè)的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型；致力于成為半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域值得信賴的者；致力于提升人類智能生活品質(zhì)；致力于實(shí)現(xiàn)中國“智造強(qiáng)國”的夢(mèng)想藍(lán)圖。北方華創(chuàng)主營半導(dǎo)體裝備、真空及鋰電裝備、精密元器件業(yè)務(wù)，為半導(dǎo)體、新能源、新材料等領(lǐng)域提供解決方案。公司現(xiàn)有六大研發(fā)生產(chǎn)基地，營銷服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞等主要國家和地區(qū)。未來的北方華創(chuàng)，將以半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺(tái)，深耕發(fā)展，未來，堅(jiān)持以客戶為中心，以價(jià)值創(chuàng)造者為本，持續(xù)創(chuàng)新，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)進(jìn)步，創(chuàng)造無限可能。

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HORISP12管式等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備HORISP12PECVDSystemHORISP12PECVD系統(tǒng)主要用于156mm及以上的光伏電池的鍍膜工藝，該設(shè)備為多管結(jié)構(gòu)，每管可單獨(dú)工藝

管式等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備產(chǎn)品詳情

HORIS P12 管式等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備

HORIS P12 PECVD System

HORIS P12 PECVD系統(tǒng)主要用于156mm及以上的光伏電池的鍍膜工藝，該設(shè)備為多管結(jié)構(gòu)，每管可單獨(dú)工藝。設(shè)備主要包括自動(dòng)上下料系統(tǒng)、反應(yīng)室系統(tǒng)、真空控制系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、水平傳輸系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)等部件，工藝模塊主要用于電池減反鈍化層、鈍化層、Poly層及摻雜元素的制備。

設(shè)備特點(diǎn)

配備自動(dòng)上下料系統(tǒng)，成熟的MES接口經(jīng)驗(yàn)
高精度控溫，在線工藝調(diào)整，工藝結(jié)果一致性和穩(wěn)定性高
多預(yù)警功能，提升維護(hù)性和安全性
石墨舟預(yù)訂管理系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)舟精準(zhǔn)管理
具備多種快速、高質(zhì)量鍍膜技術(shù)，如多層復(fù)合膜/Poly層等

產(chǎn)品應(yīng)用

適用硅片尺寸
156mm~230mm
裝片量
432~780 片/舟
單機(jī)臺(tái)管數(shù)
5、6、10、12 管/系統(tǒng)
工藝種類
氮化硅、氧化硅、氧化鋁、Poly、摻雜、退火等
溫度范圍
150～650℃
適用領(lǐng)域
新能源光伏

關(guān)鍵詞：控制系統(tǒng)

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