EPEE 550 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

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型號(hào)EPEE550
品牌
所在地北京市
更新時(shí)間2025-09-06

北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司

廠商性質(zhì)其他
所在地區(qū)北京市
實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
產(chǎn)品數(shù)量115
人氣值2344

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“北方華創(chuàng)”）成立于2001年9月，2010年在深圳證券交易所上市，代碼002371，是目前國(guó)內(nèi)集成電路工藝裝備的企業(yè)。北方華創(chuàng)以科技創(chuàng)新為基點(diǎn)，著眼未來(lái)，致力于加快推進(jìn)北方華創(chuàng)向新型制造業(yè)的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型；致力于成為半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域值得信賴的者；致力于提升人類智能生活品質(zhì)；致力于實(shí)現(xiàn)中國(guó)“智造強(qiáng)國(guó)”的夢(mèng)想藍(lán)圖。北方華創(chuàng)主營(yíng)半導(dǎo)體裝備、真空及鋰電裝備、精密元器件業(yè)務(wù)，為半導(dǎo)體、新能源、新材料等領(lǐng)域提供解決方案。公司現(xiàn)有六大研發(fā)生產(chǎn)基地，營(yíng)銷服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞等主要國(guó)家和地區(qū)。未來(lái)的北方華創(chuàng)，將以半導(dǎo)體基礎(chǔ)產(chǎn)品領(lǐng)域企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺(tái)，深耕發(fā)展，未來(lái)，堅(jiān)持以客戶為中心，以價(jià)值創(chuàng)造者為本，持續(xù)創(chuàng)新，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)進(jìn)步，創(chuàng)造無(wú)限可能。

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EPEE550等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)EPEE550PECVDSystemEPEE550系列主要用于2~8英寸SiO?、SiN?、SiON等介質(zhì)薄膜沉積工藝，單反應(yīng)腔多片架構(gòu)，兼具大產(chǎn)能和高性價(jià)比特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于LED領(lǐng)域藍(lán)綠、紅黃光制程工藝

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

EPEE 550 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

EPEE 550 PECVD System

EPEE 550系列主要用于2~8英寸SiO?、SiN?、SiON等介質(zhì)薄膜沉積工藝，單反應(yīng)腔多片架構(gòu)，兼具大產(chǎn)能和高性價(jià)比特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于LED領(lǐng)域藍(lán)綠、紅黃光制程工藝。

設(shè)備特點(diǎn)

大容量載盤，兼容不同晶圓尺寸
良好的薄膜沉積均勻性
高功率在線清洗技術(shù)，清洗效率高
可選高、低頻電源配置，薄膜應(yīng)力可調(diào)
低擁有成本、低運(yùn)營(yíng)成本

產(chǎn)品應(yīng)用

晶圓尺寸
8英寸及以下
適用材料
氧化硅、氮化硅、氮氧化硅
適用工藝
保護(hù)層、掩膜層、電流阻擋層
適用領(lǐng)域
半導(dǎo)體顯示及照明、科研領(lǐng)域

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