HORIS L12 管式低壓化學氣相沉積設備

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型號HORISL12
品牌
所在地北京市
更新時間2025-09-06

北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司

廠商性質(zhì)其他
所在地區(qū)北京市
實名認證已認證
產(chǎn)品數(shù)量115
人氣值2285

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北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司（以下簡稱“北方華創(chuàng)”）成立于2001年9月，2010年在深圳證券交易所上市，代碼002371，是目前國內(nèi)集成電路工藝裝備的企業(yè)。北方華創(chuàng)以科技創(chuàng)新為基點，著眼未來，致力于加快推進北方華創(chuàng)向新型制造業(yè)的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型；致力于成為半導體基礎產(chǎn)品領(lǐng)域值得信賴的者；致力于提升人類智能生活品質(zhì)；致力于實現(xiàn)中國“智造強國”的夢想藍圖。北方華創(chuàng)主營半導體裝備、真空及鋰電裝備、精密元器件業(yè)務，為半導體、新能源、新材料等領(lǐng)域提供解決方案。公司現(xiàn)有六大研發(fā)生產(chǎn)基地，營銷服務體系覆蓋歐、美、亞等主要國家和地區(qū)。未來的北方華創(chuàng)，將以半導體基礎產(chǎn)品領(lǐng)域企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺，深耕發(fā)展，未來，堅持以客戶為中心，以價值創(chuàng)造者為本，持續(xù)創(chuàng)新，推動產(chǎn)業(yè)進步，創(chuàng)造無限可能。

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HORISL12管式低壓化學氣相沉積設備HORISL12LPCVDSystemHORISL12系列管式LPCVD主要用于156mm及以上的TOPCon光伏高效電池的超薄隧穿氧化層和Poly薄膜工藝，該設備為多管結(jié)構(gòu)，每管可單獨工藝

管式低壓化學氣相沉積設備產(chǎn)品詳情

HORIS L12 管式低壓化學氣相沉積設備

HORIS L12 LPCVD System

HORIS L12系列管式LPCVD主要用于156mm及以上的TOPCon光伏高效電池的超薄隧穿氧化層和Poly薄膜工藝，該設備為多管結(jié)構(gòu)，每管可單獨工藝。設備主要包括上下料系統(tǒng)、反應室系統(tǒng)、真空控制系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、水平傳輸系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)等部件組成。主要的工藝模塊是用于電池背面形成載流子選擇性通過的隧穿氧化層，有助于提高電池開壓，達到提升電池效率的目的。

設備特點

多路進氣方式以及前后雙勻流設計保證高質(zhì)量薄膜工藝均勻性
高強度石英舟結(jié)構(gòu)和雙層密封反應腔室保障低運營成本，實現(xiàn)超高設備稼動率
超大承載機構(gòu)設計以及專項升級的抓取機構(gòu)
采用的閉環(huán)壓控系統(tǒng)，確保成膜速度和均勻性
具備多種鍍膜技術(shù)，如多層復合膜、摻雜多晶硅技術(shù)

產(chǎn)品應用

適用硅片尺寸
156mm~230mm
裝片量
1300~2860（單槽雙插）片 / 管
單機臺管數(shù)
5、6、10、12 管 / 系統(tǒng)
工藝種類
氧化硅、多晶硅、摻磷多晶硅、摻硼多晶硅
溫度范圍
600~1000℃
適用領(lǐng)域
新能源光伏

關(guān)鍵詞：控制系統(tǒng)

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