中圖儀器3D白光干涉儀微納米形貌測量憑借0.1nm縱向分辨率的優(yōu)勢，成為超光滑樣品3D形貌精準測量的核心裝備，廣泛適配超精密制造多行業(yè)核心檢測場景，且與共聚焦顯微鏡形成互補，共同構(gòu)建起覆蓋全類型樣品的專業(yè)顯微測量產(chǎn)品線，滿足企業(yè)多維度檢測需求！

價格優(yōu)勢

1.以白光干涉儀為核心的3D形貌測量方案，兼具高性價比與全流程成本控制優(yōu)勢，且其與共聚焦顯微鏡組成的顯微測量產(chǎn)品線，能為企業(yè)提供靈活的采購選擇，從單臺適配到組合采購，降低企業(yè)檢測設(shè)備投入與使用成本！

2.白光干涉儀聚焦超光滑樣品3D形貌測量，縱向0.1nm分辨率的精度無需搭配高倍率物鏡即可實現(xiàn)，低倍下仍能保持納米級測量能力，結(jié)合大圖無縫拼接功能，大幅提升大面積樣品3D形貌檢測效率，減少人工成本；

3.設(shè)備為一站式3D形貌測量設(shè)計，可同步完成粗糙度、臺階高、輪廓尺寸等參數(shù)檢測，一臺替代多款專用納米級檢測設(shè)備，無隱形消費，標配核心部件無需額外采購。而顯微測量產(chǎn)品線的組合采購模式更具成本優(yōu)勢，企業(yè)可根據(jù)檢測需求，搭配選購白光干涉儀與共聚焦顯微鏡，享專屬組合采購優(yōu)惠，比單獨采購兩臺設(shè)備更劃算；

4.若企業(yè)有全場景檢測需求，直接選購顯微產(chǎn)品線中的WT3000二合一機型，可省去兩臺設(shè)備的采購投入，同時節(jié)省設(shè)備擺放的場地成本，且一次裝夾完成全類型樣品3D形貌測量，大幅降低人工操作與樣品調(diào)試成本。

5.此外，整個產(chǎn)品線設(shè)備均為光學非接觸式設(shè)計，核心部件耐用性強，后期維修保養(yǎng)成本低，批量采購還可享定制化報價，實實在在為企業(yè)節(jié)省全生命周期檢測成本。

應(yīng)用場景

1.光通信領(lǐng)域

白光干涉儀可對800G/1.6T光模塊核心的微透鏡陣列完成高保真3D形貌重構(gòu)，精準捕捉曲率半徑、矢高等關(guān)鍵參數(shù)，為光路耦合效率把控提供數(shù)據(jù)支撐；

2.半導體行業(yè)

針對晶圓減薄后的超光滑表面，能實現(xiàn)納米級3D形貌測量，清晰還原表面微觀幾何特征，助力拋光工藝優(yōu)化；3C電子領(lǐng)域，可對手機玻璃屏、透明光學配件做3D形貌檢測，精準提取劃痕、凹坑等瑕疵的三維尺寸；

3.光學加工領(lǐng)域

適配透明光學膜片、光學透鏡等光滑器件的3D形貌重建，完整呈現(xiàn)表面平整度、曲率等形貌信息。

針對白光干涉儀難以覆蓋的陡、糙、暗類樣品，中圖儀器顯微產(chǎn)品線中的共聚焦顯微鏡可承接，其71.8°可測傾角能還原大陡壁復雜結(jié)構(gòu)，弱光信號解析能力適配低反射率、粗糙表面的3D形貌測量，光伏行業(yè)太陽能電池板絨面金字塔結(jié)構(gòu)、半導體劃片工藝的激光鐳射槽均能精準檢測。同時產(chǎn)品線還推出WT3000白光干涉+共聚焦二合一機型，一次裝夾即可完成光滑面與復雜結(jié)構(gòu)的3D形貌全測量，真正實現(xiàn)超精密制造全場景檢測覆蓋。

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